[發明專利]一種激光直接成像閉環實時檢測系統及閉環實時檢測方法

在審

• 申請號: 202010064941.7
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN111103237A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 王瑞;梅文輝
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/27
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 趙琴娜

1.一種激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，包括：

光源模塊；

光斑均勻機構，用于將所述光源模塊輸出光斑均勻化；

空間光調制器，用于把數字信號轉化成光信號；

光刻物鏡，作為成像元件將調制后的光斑生成圖像；

第一分光反射鏡，用于將所述圖像分成一路作用于待曝光材料的透射輸出、另一路作為檢測信號的反射輸出；

數據采集裝置，與所述第一分光反射鏡的反射輸出端對應以采集圖像、亮度數據，并生成圖形文件信號；

圖形處理服務器，用于將所述圖形文件信號轉換成空間光調制器工作數據并輸出至所述空間光調制器。

2.根據權利要求1所述的激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，所述光源模塊采用由一個或多個一字排列的光源組成的多光譜光源。

3.根據權利要求2所述的激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，所述光斑均勻機構包括全反射鏡以及一個或多個第二分光反射鏡，所述第二分光反射鏡與所述光源一一對應，所述全反射鏡設置在所述一個或多個第二分光反射鏡與空間光調制器之間。

4.根據權利要求1所述的激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，所述數據采集裝置為線陣CCD。

5.一種激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，包括：

光源模塊；

光斑均勻機構，用于將所述光源模塊輸出光斑均勻化；

空間光調制器，用于把數字信號轉化成光信號；

第一分光反射鏡，用于將調制后的光斑分成一路透射輸出、另一路反射輸出；

第一光刻物鏡，作為成像元件將所述第一分光反射鏡透射輸出的光斑生成作用于待曝光材料的圖像；

第二光刻物鏡，作為成像元件將所述第一分光反射鏡反射輸出的光斑生成用于檢測信號的圖像、亮度數據；

數據采集裝置，用于采集所述第二光刻物鏡輸出的圖像、亮度數據，并生成圖形文件信號；

圖形處理服務器，用于將所述圖形文件信號轉換成空間光調制器工作數據并輸出至所述空間光調制器。

6.根據權利要求5所述的激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，所述光源模塊采用由一個或多個一字排列的光源組成的多光譜光源。

7.根據權利要求6所述的激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，所述光斑均勻機構包括全反射鏡以及一個或多個第二分光反射鏡，所述第二分光反射鏡與所述光源一一對應，所述全反射鏡設置在所述一個或多個第二分光反射鏡與空間光調制器之間。

8.根據權利要求5所述的激光直接成像閉環實時檢測系統，其特征在于，所述數據采集裝置為線陣CCD。

9.一種激光直接成像閉環實時檢測系統閉環實時檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

光源輸出光斑；

將所述輸出光斑均勻化；

使用空間光調制器將數字信號轉換成光信號；

將光信號再分成反射輸出和透射輸出；或者將光信號分成反射輸出和透射輸出再分別生成圖像；

采集反射輸出的圖像、亮度數據并與預存的原始圖像進行比較。

10.根據權利要求9所述的激光直接成像閉環實時檢測系統閉環實時檢測方法，其特征在于，比較采集圖像與原始圖像時，若二者大小或位置不一致時，超過采集圖像與原始圖像的設置偏差閾值，則報警提示人工判斷。