[發明專利]一種表面聲波探測器在審
| 申請號： | 202010063489.2 | 申請日： | 2020-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN111220259A | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 西安柯萊特信息科技有限公司 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00;G01N29/02;G01N29/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710000 陜西省西安市高新區高*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 聲波 探測器 | ||
【權利要求書】：
1.一種表面聲波探測器，包括襯底層(1),其特征在于:所述襯底層(1)的上方設置有聲光介質層(2)，所述聲光介質層(2)的上方設置有周期排列的孔洞(3)，所述聲光介質層(2)的上方設置有貴金屬結構(4)，貴金屬結構(4)與孔洞(3)一一對應。
2.如權利要求1所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述襯底層(1)的上方設置有聲光介質層(2)，所述聲光介質層(2)的上方設置有周期排列的孔洞(3)，所述孔洞(3)內設置有貴金屬結構(4)。
3.如權利要求2所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述聲光貴金屬結構(4)與襯底層(1)之間設置有光介質層(2)。
4.如權利要求1所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述貴金屬結構(4)為貴金屬圓環。
5.如權利要求1所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述孔洞(3)為圓環形孔洞，對應的貴金屬結構(4)也為圓環形貴金屬結構。
6.如權利要求1所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述孔洞(3)為矩形孔洞，對應的貴金屬結構(4)也為矩形貴金屬結構。
7.如權利要求1所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述聲光介質層(2)是二氧化碲或鉬酸鉛。
8.如權利要求1所述的一種表面聲波探測器，其特征在于:所述孔洞(3)的排列周期是200nm～600nm。
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