[發(fā)明專利]一種抗靜電的集成電路芯片封裝裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010060743.3 | 申請日: | 2020-01-19 |
| 公開(公告)號: | CN111180368A | 公開(公告)日: | 2020-05-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 不公告發(fā)明人 | 申請(專利權(quán))人: | 鐘健美 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 510000 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 抗靜電 集成電路 芯片 封裝 裝置 | ||
1.一種抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,包括封裝外殼(1),所述封裝外殼(1)內(nèi)底部設(shè)有位置可調(diào)的封裝平臺(6);
所述封裝外殼(1)內(nèi)架設(shè)有高度可調(diào)的支撐罩(4),支撐罩(4)的底端敞口處密封轉(zhuǎn)動設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤(15),所述支撐罩(4)上還安裝有用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)盤(15)旋轉(zhuǎn)的第一伺服電機(17);
所述旋轉(zhuǎn)盤(15)的一側(cè)具有用于將所述支撐罩(4)內(nèi)腔的空氣均勻吹出的吹風組件;
所述旋轉(zhuǎn)盤(15)的另一側(cè)具有用于對放置在封裝平臺(6)上的芯片進行焊接封裝處理的焊接組件;所述旋轉(zhuǎn)盤(15)的中部底面設(shè)置有高清攝像頭(16)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述封裝外殼(1)上還設(shè)置有用于向所述支撐罩(4)內(nèi)鼓入空氣的空壓機(13),所述空壓機(13)的出氣端與所述支撐罩(4)的內(nèi)腔之間通過第一輸氣軟管(14)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述焊接組件包括轉(zhuǎn)動架設(shè)在旋轉(zhuǎn)盤(15)上的L型支桿(23)以及用于驅(qū)動所述L型支桿(23)旋轉(zhuǎn)的第二伺服電機(26),所述L型支桿(23)的另一端安裝有焊槍(24),所述焊槍(24)上安裝有焊頭(25);
當L型支桿(23)旋轉(zhuǎn)時,所述焊槍(24)繞L型支桿(23)做圓周運動的旋轉(zhuǎn)直徑與所述旋轉(zhuǎn)盤(15)的半徑相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述吹風組件包括固定安裝在所述旋轉(zhuǎn)盤(15)上的基座(32)和支撐板(33),其中支撐板(33)上轉(zhuǎn)動設(shè)置有通過電機進行驅(qū)動的轉(zhuǎn)動圓盤(31),所述轉(zhuǎn)動圓盤(31)的一側(cè)端面固定安裝有導柱(30);
所述基座(32)上鉸接連接有擺動套板(29),所述擺動套板(29)通過其上開設(shè)的條形通孔滑動套設(shè)在所述導柱(30)上,且所述擺動套板(29)的底端固定安裝有噴氣口(28);
所述噴氣口(28)與所述支撐罩(4)的內(nèi)腔之間通過第二輸氣軟管(27)相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述封裝外殼(1)的頂部設(shè)置有升降組件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述升降組件包括轉(zhuǎn)動連接在所述封裝外殼(1)頂板上的旋轉(zhuǎn)螺套(22),所述旋轉(zhuǎn)螺套(22)通過螺紋連接方式套接在所述豎向絲桿(21)上,延伸至所述封裝外殼(1)內(nèi)的豎向絲桿(21)底端與所述支撐罩(4)固定連接,所述升降組件還包括用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)螺套(22)旋轉(zhuǎn)的第二正反轉(zhuǎn)電機(18;
所述第二正反轉(zhuǎn)電機(18)的輸出軸上安裝有主動齒輪,所述旋轉(zhuǎn)螺套(22)上固定安裝有與所述主動齒輪相嚙合的從動齒輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)螺套(22)的外圈還固定安裝有支撐限位環(huán)(34)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述豎向絲桿(21)的頂端固定安裝有支撐頂板(20),所述封裝外殼(1)的頂板上固定安裝有伸縮導向套桿(19),所述伸縮導向套桿(19)的頂端與所述支撐頂板(20)固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述封裝平臺(6)為中空結(jié)構(gòu),所述封裝平臺(6)的內(nèi)部下方設(shè)有真空腔;
所述封裝平臺(6)的內(nèi)部上方設(shè)有內(nèi)腔(9),所述內(nèi)腔(9)的內(nèi)部開設(shè)有豎直設(shè)置的氣孔(8),且氣孔(8)的一端延伸至真空腔,所述封裝平臺(6)的底部內(nèi)壁兩端均固定安裝有真空泵(7)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的抗靜電的集成電路芯片封裝裝置,其特征在于,所述封裝外殼(1)的一側(cè)具有與之連通的送料外殼(2),送料外殼(2)的頂部開合式安裝有蓋板(3);
所述封裝外殼(1)和送料外殼(2)共有的底板內(nèi)腔轉(zhuǎn)動設(shè)置有橫向絲桿(11),且該底板內(nèi)腔中水平滑動設(shè)有支撐螺套(10),所述支撐螺套(10)通過螺紋連接方式套接在所述橫向絲桿(11)上,該底板的一端還安裝有用于驅(qū)動所述橫向絲桿(11)旋轉(zhuǎn)的第一正反轉(zhuǎn)電機(12)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于鐘健美,未經(jīng)鐘健美許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010060743.3/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





