[發(fā)明專利]分束器組件和具備該分束器組件的分析裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010060031.1 | 申請日: | 2020-01-19 |
| 公開(公告)號: | CN111505786B | 公開(公告)日: | 2021-10-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 馬路健;和久田真也 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號: | G02B7/00 | 分類號: | G02B7/00;G01N21/01;G01N21/35 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 分束器 組件 具備 分析 裝置 | ||
1.一種分束器組件,其中,
該分束器組件包括:
分束器;
保持件,其保持所述分束器;以及
第1間隔件組,其配置于所述分束器與所述保持件之間,
所述第1間隔件組包含3個第1種隔片,
所述3個第1種隔片各自包含第1種光學(xué)元件保持部和第1種定位部,
所述保持件具有3個第1種隔片收納凹部,所述第1種隔片收納凹部各自具有與所述第1種定位部對應(yīng)的形狀,
所述3個第1種隔片分別收納于所述3個第1種隔片收納凹部,
所述3個第1種隔片各自的所述第1種光學(xué)元件保持部抵接于所述分束器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分束器組件,其中,
所述第1種定位部在俯視時具有左右不對稱的形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分束器組件,其中,
該分束器組件還包括:
補償板,其由所述保持件保持;以及
第2間隔件組,其配置于所述補償板與所述保持件之間,
所述第2間隔件組包含兩個第2種隔片和1個第3種隔片,
所述第2種隔片各自包含第2種光學(xué)元件保持部和第2種定位部,
所述第3種隔片包含第3種光學(xué)元件保持部和第3種定位部,
所述第2種光學(xué)元件保持部與所述第3種光學(xué)元件保持部厚度不同,
所述第2種隔片與所述第3種隔片俯視時的形狀不同,
所述保持件具有兩個第2種隔片收納凹部和1個第3種隔片收納凹部,
所述兩個第2種隔片收納凹部各自具有與所述第2種定位部對應(yīng)的形狀,
所述第3種隔片收納凹部具有與所述第3種定位部對應(yīng)的形狀,
所述兩個第2種隔片分別收納于所述兩個第2種隔片收納凹部,所述1個第3種隔片收納于所述1個第3種隔片收納凹部,
所述兩個第2種隔片的所述第2種光學(xué)元件保持部和所述1個第3種隔片的所述第3種光學(xué)元件保持部抵接于所述補償板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分束器組件,其中,
所述第2種定位部在俯視時具有左右不對稱的形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分束器組件,其中,
所述第3種定位部在俯視時具有左右不對稱的形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分束器組件,其中,
所述第2種隔片和所述第3種隔片中的一者與所述第1種隔片相比,厚度相同且俯視時的形狀相同。
7.一種分析裝置,其中,
該分析裝置具備權(quán)利要求1~6中任一項所述的分束器組件。
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