[發明專利]一種銀錫核殼結構的納米金屬焊膏的制備方法及其應用有效
| 申請號： | 202010059423.6 | 申請日： | 2020-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN111230352B | 公開（公告）日： | 2021-12-24 |
| 發明（設計）人： | 陳靜;劉盼;張靖;葉懷宇;張國旗 | 申請（專利權）人： | 深圳第三代半導體研究院 |
| 主分類號： | B23K35/14 | 分類號： | B23K35/14;B23K1/00 |
| 代理公司： | 北京華創智道知識產權代理事務所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭隨麗 |
| 地址： | 518055 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 銀錫核殼 結構 納米 金屬 制備 方法 及其 應用 | ||
1.一種銀錫核殼結構的納米金屬焊膏的制備方法，其特征在于，具體包括以下步驟：
S1.采用去離子水超聲洗滌納米銀，獲得第一納米銀粉；
S2.將所述第一納米銀粉加入到丙酮中，并進行超聲處理，得到含銀粉的丙酮溶液，揮發所述含銀粉的丙酮溶液中丙酮，得到干燥待包覆的第二納米銀粉；
S3.配置濃度為1×10-2mol/L-2×10-2mol/L的硼氫化鈉還原液；
S4.利用磁力攪拌儀在轉速為300r/min-400r/min的攪拌速度下將第二納米銀粉加入到硼氫化鈉還原液中攪拌10-25min，保持轉速不變，逐滴加入二價錫離子溶液，當納米銀由黑色變為銀色后停止攪拌，得到錫包覆納米銀溶液；
S5.干燥錫包覆納米銀溶液，得到銀錫核殼結構的納米金屬焊膏；所述銀錫核殼結構的納米金屬焊膏接頭強度為25-30MPA，熱導率在120±10W/mK，該焊膏的燒結溫度為200-230℃；
所述S1中超聲洗滌條件為室溫下20K-40KHz，洗滌15min-30min；
所述S2中超聲處理條件為溫度25℃-50℃下，20K-40KHz處理10-15min；
所述S3中硼氫化鈉還原液采用以下方法制備：將氫氧化鈉加入去離子冰水中，調整溶液的PH為11-12，隨后加入硼氫化鈉，既得硼氫化鈉還原液；
所述S5中所述干燥條件為：溫度90-100℃，時間為6-10h。
2.一種采用由權利要求1所述方法制備的銀錫核殼結構納米金屬焊膏的燒結方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1.將所述納米金屬焊膏涂覆在基板上；
S2.芯片貼合；
S3.燒結，冷卻，完成器件制備。
3.如權利要求2所述的納米金屬焊膏的燒結方法，其特征在于，S1中所述納米金屬焊膏厚度為25-35um。
4.如權利要求2所述的納米金屬焊膏的燒結方法，其特征在于，所述S3燒結條件為壓力10-20MPa；燒結過程為：快速升溫至160℃，保持恒溫15min-30min；快速升溫至180℃，保持恒溫15min-30min；快速升溫至230℃-250℃，恒溫50min-80min。
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