[發明專利]一種激光輸出耦合裝置的調諧機構

在審

• 申請號: 202010058819.9
• 申請日: 2020-01-18
• 公開（公告）號: CN113140956A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 詹紹通;丁金濱;劉稚萍;劉斌;江銳
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10;H01S3/08;H01S3/13
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

本發明涉及激光技術領域，特別涉及一種激光輸出耦合裝置的調諧機構。調諧機構包括輸出耦合鏡組件和調節組件；調節組件包括底板，第一調節桿組件和第一調節球，第二調節桿組件和第二調節球；底板設有第一光路通道，第一導軌，第二導軌和凹槽；輸出耦合鏡組件的一側設有斜面形調節銷，凹面形調節銷和定位塊；輸出耦合鏡組件的另一側通過帶有彈性部件的固定裝置壓緊在激光輸出耦合裝置上，耦合鏡組件的定位塊可轉動地壓緊在底板上的凹槽內；本發明提供的激光輸出耦合裝置的調諧機構有效解決了現有的一體式結構的旋桿調諧時由于摩擦力帶來的旋轉不暢現象。

技術領域

本申請涉及激光技術領域，特別涉及一種激光輸出耦合裝置的調諧機構。

背景技術

在高端光刻領域，高重頻準分子激光因其高重頻、窄線寬和大能量的特點，是目前半導體光刻領域應用的占絕對主導地位的光源。

在高重頻準分子激光器系統中，光學輸出會遇到諸多問題，首先遇到的便是從放電腔發出的激光不能滿足窄線寬和大能量需求。

對此，一般采用增加具有一定反射率和透過率的輸出耦合鏡對輸出激光進行折返振蕩，使其增大能量并進行線寬壓窄后輸出。在輸出耦合裝置的調諧過程中，往往需要在諧振腔狀態下花費較長時間調試才能夠得到能量較高的輸出光，而且輸出光與調節位置方向相同的傳統結構不僅增加了調諧難度也提高了調節過程中的人員危險，傳統輸出耦合裝置兩端的連接方式為懸臂式法蘭連接，其安裝后不夠穩定，連接完整光路后，調諧結果會再次產生偏差。另外，對于高重頻準分子激光來說，輸出光位置需開機啟動才能確定具體位置，對激光器系統對接造成了不便。

發明內容

本發明的目的在于提供一種激光輸出耦合裝置的調諧機構，以解決現有輸出耦合裝置調節難度高，且調節過程中存在人員危險的問題。

為實現上述目的，本發明提供一種激光輸出耦合裝置的調諧機構，所述調諧機構包括輸出耦合鏡組件和調節組件；

所述調節組件包括底板，第一調節桿組件和第一調節球，第二調節桿組件和第二調節球；

所述底板設有第一光路通道，第一導軌，第二導軌和凹槽；

所述輸出耦合鏡組件的一側設有斜面形調節銷，凹面形調節銷和定位塊；

所述輸出耦合鏡組件的另一側通過帶有彈性部件的固定裝置壓緊在所述激光輸出耦合裝置上，所述耦合鏡組件的定位塊可轉動地壓緊在所述底板上的凹槽內；

所述第一調節球位于所述第一導軌和所述斜面形調節銷之間，所述第一調節桿組件的一端與第一調節球接觸，第一調節球在第一調節桿組件的推動下可延第一導軌滑動；

所述第二調節球位于所述第二導軌和所述凹面形調節銷之間，所述第二調節桿組件的一端與第二調節球接觸，第二調節球在第二調節桿組件的推動下可延第二導軌滑動。

優選地，所述斜面形調節銷，凹面形調節銷和定位塊呈三角形分布。

優選地，所述導軌可為V型槽導軌，梯形槽導軌或球面凹槽導軌。

優選地，所述凹槽為球面凹槽、錐面凹槽或截頭錐面凹槽。

優選地，所述斜面形調節銷的斜面為楔面或斜凹面。

優選地，所述凹面形調節銷的凹面為V形、梯形、凹球面形或矩形。

優選地，所述凹面形調節銷為斜面V形調節銷、斜面梯形、斜面凹球面形或斜面矩形調節銷。

優選地，所述定位塊為球形定位塊或截頭錐形定位塊。

優選地，所述第一調節桿組件和第二調節桿組件的長度不同。

優選地，所述調諧機構還包括狹縫，所述狹縫位于所述輸出耦合鏡組件與所述調節組件的底板之間。