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[發明專利]硅粉過濾系統在審

專利信息
申請號: 202010058699.2 申請日: 2020-01-19
公開(公告)號: CN111228932A 公開(公告)日: 2020-06-05
發明(設計)人: 袁野;劉品強;汪云清;杜炳勝;冉祎 申請(專利權)人: 四川永祥多晶硅有限公司
主分類號: B01D46/54 分類號: B01D46/54;B01D61/00;B01D3/14;C01B33/037;C01B33/107
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 李赫
地址: 614800 四川省*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 過濾 系統
【權利要求書】:

1.一種硅粉過濾系統,其特征在于:包括相連的主過濾器和殘液過濾器,所述主過濾器能夠與液體氯硅烷相連通,所述主過濾器內設置金屬膜元件,所述金屬膜元件能夠濾除液體氯硅烷中的硅粉,所述主過濾器設置清液出口,所述清液出口能夠與鋼構加熱器相連,同時,所述主過濾器能夠將過濾后的硅粉和殘液輸送至所述殘液過濾器內,所述殘液過濾器能夠對硅粉和殘液進行加熱,所述殘液過濾器設置有硅粉出口和氯硅烷出口。

2.如權利要求1所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述主過濾器包括罐體,所述金屬膜元件為中空的圓柱狀結構,所述金屬膜元件的數量為多個,多個所述金屬膜元件于所述罐體內均布設置,所述罐體的內腔與液體氯硅烷相連通。

3.如權利要求2所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述主過濾器連接有反吹機構,所述反吹機構與所述金屬膜元件的內腔相連通,所述反吹機構能夠向所述金屬膜元件的內腔通入氣體。

4.如權利要求3所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述反吹機構包括氮氣罐,所述氮氣罐與所述金屬膜元件的內腔相連通。

5.如權利要求1所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述殘液過濾器包括本體和夾套,所述本體與所述主過濾器相連通,所述夾套套裝于所述本體的外部,所述夾套內腔與外部熱源相連通,所述硅粉出口和所述氯硅烷出口均與所述本體相連。

6.如權利要求5所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述硅粉出口連接有干硅粉收集袋,所述氯硅烷出口連接有緩沖罐。

7.如權利要求1-6任一項所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述主過濾器、所述殘液過濾器的數量為兩組,兩組所述主過濾器、所述殘液過濾器并聯設置。

8.如權利要求1-6任一項所述的硅粉過濾系統,其特征在于:所述主過濾器、所述殘液過濾器之間設置控制閥門。

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