[發(fā)明專利]一種多級(jí)復(fù)眼透鏡的制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010058570.1 | 申請(qǐng)日： | 2020-01-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111060997B | 公開（公告）日： | 2021-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王文君;梅雪松;李江;潘愛飛;劉斌;崔健磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B3/00 | 分類號(hào)： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多級(jí) 復(fù)眼 透鏡 制造 方法 | ||
1.一種多級(jí)復(fù)眼透鏡的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)利用光刻方法制備微柱陣列：將光刻膠4620旋涂在玻璃片上，旋涂速度為1500r/s，放在烘臺(tái)上5min，重復(fù)旋涂，獲得厚度為22μm的微孔陣列，即樣片一；利用PDMS對(duì)樣片一進(jìn)行兩次翻模后，得到微孔陣列模具，即樣片二；將NOA61紫外固化膠澆筑在樣片二的PDMS曲面上，壓上玻璃基底，然后紫外曝光機(jī)曝光100s，脫模制得高度為22μm的微柱陣列，即樣片三；
2)給樣片三表面濺射30nm的ZnO得到樣片四，利用微噴印機(jī)在樣片四的微柱陣列間隙噴印紫外固化膠，利用液滴滴落次數(shù)控制微透鏡形貌，液滴滴落次數(shù)為2-12，得到具有微透鏡陣列的樣片五；
3)將7g六甲基四胺和14.87g硝酸鋅分別溶于500ml的去離子水中，攪拌20分鐘，然后將六甲基四胺溶液倒入硝酸鋅溶液中，混合攪拌15分鐘得到混合溶液，將樣片五放入混合溶液中，放入90℃水浴鍋中水浴80分鐘，得到樣片六；
4)將樣片六用去離子水清洗2分鐘，放在60℃的烘臺(tái)上50分鐘，得到多級(jí)復(fù)眼透鏡。
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