[發(fā)明專利]復合式薄膜傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010058392.2
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN113137910A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設計）人: 鄭岳世;紀嵐中
• 申請（專利權）人: 華一聲學股份有限公司
• 主分類號: G01B7/16
• 分類號: G01B7/16;G01L1/14;G01L1/16;G01L1/20
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權代理有限公司 72003
• 代理人: 任蕓蕓;鄭特強

1.一種復合式薄膜傳感器，其特征在于，包括：

兩個薄膜基材，兩個所述薄膜基材分別具有一內側面及一外側面，兩個所述薄膜基材以所述內側面彼此相對方式相互疊合；

兩個導電圖案層，分別設置于兩個所述薄膜基材的內側面；

至少一薄膜壓力傳感器，設置于兩個所述薄膜基材之間，并且電性連接兩個所述導電圖案層；

至少一壓電薄膜，設置于兩個所述薄膜基材之間，并且至少一所述壓電薄膜的兩側面分別通過導電膠黏合于兩個所述導電圖案層相對于兩個所述薄膜基材的一側面，使得至少一所述壓電薄膜的兩側面和兩個所述導電圖案層的表面固定結合且達成電性連接；

兩個所述導電層分別形成多個導電線路以及多個電路接點，多個所述導電線路分別電性連接至少一所述薄膜壓力傳感器、至少一所述壓電薄膜和多個所述電路接點，而使得至少一所述薄膜壓力傳感器以及至少一所述壓電薄膜分別和多個所述電路接點電性連接；

其中，兩個所述薄膜基材、至少一所述薄膜壓力傳感器以及至少一所述壓電薄膜具有可撓性，至少一所述薄膜壓力傳感器能夠于承受壓力時輸出一壓力感測信號，至少一所述壓電薄膜能夠于承受壓力或彎曲變形時輸出一電壓信號。

2.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，所述薄膜壓力傳感器為電容式壓力傳感器、電阻式壓力傳感器、或壓電式壓力傳感器的其中之一。

3.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，所述壓電薄膜為聚偏二氟乙烯薄膜。

4.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，兩個所述薄膜基材為可撓性的高分子薄膜基材，兩個所述導電層為設置于所述薄膜基材的表面的金屬層或金屬氧化層。

5.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，每一所述導電圖案層對應于至少一所述壓電薄膜的位置分別設置至少一接觸電極，至少一所述接觸電極的面積等于或大于至少一所述壓電薄膜的面積，至少一所述壓電薄膜的兩側面通過導電膠貼合于至少一所述接觸電極。

6.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，所述導電線路當中，其中連接至少一所述薄膜壓力傳感器的所述導電線路和連接至少一所述壓電薄膜的導電線路彼此不相連接。

7.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，至少一所述壓電薄膜及至少一所述薄膜壓力傳感器以直線方式排列設置于所述薄膜基材上，而形成直線傳感器陣列。

8.如權利要求7所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，多個所述壓電薄膜及多個所述薄膜壓力傳感器所形成的直線傳感器陣列以并排方式設置于所述薄膜基材上，而形成平面狀傳感器陣列。

9.如權利要求7所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，多個所述壓電薄膜及多個所述薄膜壓力傳感器所形成的直線傳感器陣列以井字排列設置于所述薄膜基材上。

10.如權利要求1所述的復合式薄膜傳感器，其特征在于，多個所述壓電薄膜以環(huán)形排列設置于至少一所述薄膜壓力傳感器外圍。