[發(fā)明專利]一種抗粘附的射頻機(jī)械開關(guān)及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010058134.4 | 申請(qǐng)日： | 2020-01-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111180837B | 公開（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姜理利;王雷;李杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01P1/10 | 分類號(hào)： | H01P1/10;H01P11/00;H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210016 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 粘附 射頻 機(jī)械 開關(guān) 及其 制備 方法 | ||
1.一種抗粘附的射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，包括：
襯底(1)；
共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述襯底(1)上，用于傳輸射頻以及微波信號(hào)；
懸臂梁結(jié)構(gòu)，包括懸臂梁(31)、電感陣列(32)以及觸點(diǎn)(33)；所述懸臂梁(31)一端通過支架(34)與所述共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)連接，所述懸臂梁(31)另一端設(shè)有觸點(diǎn)(33)；所述電感陣列(32)設(shè)于所述懸臂梁(31)上；
驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括電感(41)以及焊盤(42)，所述電感(41)設(shè)置于所述襯底(1)上，所述電感(41)位于所述懸臂梁(31)下方；所述焊盤(42)設(shè)置在所述襯底(1)上；所述電感(41)通過金屬絲(43)與所述焊盤(42)連接；
所述共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述襯底(1)上的輸入信號(hào)線(21)、輸出信號(hào)線(22)以及地線(23)，所述輸入信號(hào)線(21)通過支架(34)與所述懸臂梁(31)連接；所述輸出信號(hào)線(22)位于所述觸點(diǎn)(33)下方；所述地線(23)具有兩條，所述輸入信號(hào)線(21)以及所述輸出信號(hào)線(22)位于兩條地線(23)之間，所述輸入信號(hào)線(21)、所述輸出信號(hào)線(22)以及所述地線(23)相互平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗粘附的射頻機(jī)械開關(guān)的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
S10在襯底上濺射金屬并刻蝕形成共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；
S20在所述共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)上涂覆一層犧牲層(5)并在犧牲層(5)上刻出觸點(diǎn)(33)的位置；
S30在犧牲層(5)上濺射一層金屬并刻蝕出懸臂梁結(jié)構(gòu)，然后電鍍?cè)龊瘢灰约?/p>
S40采用濕法腐蝕的方法去除犧牲層(5)，釋放結(jié)構(gòu)，獲得所述抗粘附的射頻機(jī)械開關(guān)；
其中，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)包括懸臂梁(31)、電感陣列(32)以及觸點(diǎn)(33)；所述懸臂梁(31)一端通過支架(34)與所述共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)連接，所述懸臂梁(31)另一端設(shè)有觸點(diǎn)(33)；所述電感陣列(32)設(shè)于所述懸臂梁(31)上；所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括電感(41)以及焊盤(42)，所述電感(41)設(shè)置于所述襯底(1)上，所述電感(41)位于所述懸臂梁(31)下方；所述焊盤(42)設(shè)置在所述襯底(1)上；所述電感(41)通過金屬絲(43)與所述焊盤(42)連接；所述共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述襯底(1)上的輸入信號(hào)線(21)、輸出信號(hào)線(22)以及地線(23)，所述輸入信號(hào)線(21)通過支架(34)與所述懸臂梁(31)連接；所述輸出信號(hào)線(22)位于所述觸點(diǎn)(33)下方；所述地線(23)具有兩條，所述輸入信號(hào)線(21)以及所述輸出信號(hào)線(22)位于兩條地線(23)之間，所述輸入信號(hào)線(21)、所述輸出信號(hào)線(22)以及所述地線(23)相互平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抗粘附的射頻機(jī)械開關(guān)的制備方法，其特征在于，所述犧牲層(5)的材質(zhì)為耐高溫性能、絕緣性能和化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的有機(jī)高分子材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗粘附的射頻機(jī)械開關(guān)的制備方法，其特征在于，所述有機(jī)高分子材料為聚酰亞胺。
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