[發明專利]一種具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置

在審

• 申請號: 202010055887.X
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN113138540A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 朱亞冠

1.一種具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，包括浸液供給模塊、氣液回收模塊和密封氣體供給模塊；浸液供給模塊將浸液注入到投影物鏡組和硅片襯底之間形成浸沒流場，氣液回收模塊將浸液從浸沒流場抽排，密封氣體供給模塊在浸沒液體外圍注入氣體形成正壓氣體氛圍；其特征在于：所述的氣液回收模塊包括液體真空回收系統、氣體真空回收系統、氣液分離回收腔、多孔介質、抽排開口和釘扎端面；氣液分離回收腔設置在浸沒單元上端蓋內，與液體真空回收系統、氣體真空回收系統連通；氣液分離回收腔的腔內填充有多孔介質，多孔介質緊貼回收腔壁面設置，但并不完全充滿該腔室；抽排開口設置在浸沒單元下底板內，氣液分離回收腔端面與抽排開口端面貼合；浸沒單元下底板與縫隙流場接觸面抽排開口處設置凸出的釘扎端面，抽排開口沿釘扎端面均勻分布；在抽排開口中形成液相通路和氣相通路，液相通路與氣液分離回收腔中的多孔介質填充的內層部分連通，在液體真空回收系統的負壓抽吸作用下，實現純液相回收；氣相通路與氣液分離回收腔中未填充多孔介質的剩余部分連通，在氣體真空回收系統的作用下實現純氣相回收；抽排開口形狀內部距離抽排開口排列中心等距的點是連續的，并且抽排開口形狀具有大于180°的內角或者曲率半徑為負值的邊。

2.根據權利要求1所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述多孔介質與浸沒液體的靜態接觸角小于90°。

3.根據權利要求1所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排開口的寬度沿浸沒流場徑向向外的方向擴大。

4.根據權利要求1所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排開口的直徑在0.2mm到2mm之間。

5.根據權利要求1所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：兩個相鄰的所述抽排開口的中心距在0.5mm到5mm之間。

6.根據權利要求1所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述角度大于180°的內角頂點或者曲率半徑為負值的邊的起點是釘扎起點，釘扎起點距離對側邊的最近距離0.3到0.7倍于所述抽排開口的直徑。

7.根據權利要求1所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述的釘扎端面的整體形狀為圓形、方形或菱形。

8.根據權利要求7所述的具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述釘扎端面與浸沒單元下底板高度差為0.2mm～2mm，釘扎端面邊緣距離抽排開口的最近距離0.4到1.5倍于兩相鄰抽排開口的中心距。