[發明專利]一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置在審
| 申請號： | 202010055161.6 | 申請日： | 2020-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN113138538A | 公開（公告）日： | 2021-07-20 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 浙江啟爾機電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亞冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市臨安市青山湖*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 浸沒 光刻 浸液 供給 回收 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，包括主體、抽排開口、注氣開口以及緩沖腔，其特征在于：所述抽排開口沿周向布置于主體朝向襯底的一面；所述注氣開口沿周向布置于所述抽排開口的徑向外側；所述緩沖腔設置于所述抽排開口與所述注氣開口之間，與所述抽排開口連通并位于其末端。
2.根據權利要求2或3所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述注氣開口到所述浸液供給回收裝置外邊緣的距離至少是所述注氣開口到所述抽排開口的距離的4倍。
3.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述緩沖腔與所有抽排開口連通。
4.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述緩沖腔具有適應彎液面形狀的彎曲邊緣。
5.根據權利要求1～4中任一權利要求所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排開口與所述注氣開口之間的端面具有到襯底的最小距離。
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