[發明專利]一種酸性銅蝕刻液的生產工藝在審
| 申請號： | 202010053813.2 | 申請日： | 2020-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN111286738A | 公開（公告）日： | 2020-06-16 |
| 發明（設計）人： | 浦陳龍;顧維忠;顧洪衛;朱永剛;顧維達 | 申請（專利權）人： | 江陰江化微電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 孫霞 |
| 地址： | 214400 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 酸性 蝕刻 生產工藝 | ||
1.一種酸性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，所述工藝包括以下步驟：
第一步：將純水進行低溫處理，使純水溫度≤10℃在純水罐中備用；
第二步：配制和準備原料，將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中，經過過濾器循環過濾，備用；將HNO3、四甲基氫氧化銨、H2O2分別投入對應的原料罐，備用；
第三步：根據混酸配制表算出各個原料的添加量，按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→HNO3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調配罐，將上述混料充分攪拌，攪拌時間為3～5h；
第四步：在第三步的混料中再添加H2O2，繼續攪拌混勻，攪拌時間為3～5h，用磁力泵將混合液通過過濾器循環過濾。
2.根據權利要求1所述的一種酸性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，所述磁力泵出口壓力≤0.45MPa，過濾器入口壓力≤0.4MPa。
3.根據權利要求2所述的一種酸性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，所述調配罐內的溫度設定在30～35℃。
4.根據權利要求3所述的一種酸性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.5～0.2μm。
5.根據權利要求4所述的一種酸性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，第三步中各種原料在0.03～0.07kg/cm2壓力下進行，調配罐內填充氮氣，攪拌速度為30～50r/min。
6.根據權利要求5所述的一種酸性銅蝕刻液的生產工藝，其特征在于，原料罐和調配罐最大拼配量不超過罐容積的80％。
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