[發(fā)明專利]一種Y軸導(dǎo)軌水平布置的雙龍門結(jié)構(gòu)劃片機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010053474.8
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN111230688A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱曄;陳旻皓
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫立朵科技有限公司
• 主分類號: B24B27/06
• 分類號: B24B27/06;B24B41/02;B24B47/12;B24B47/04;B24B41/06
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

本發(fā)明涉及一種Y軸導(dǎo)軌水平布置的雙龍門結(jié)構(gòu)劃片機(jī)，包括基座，基座上沿X軸設(shè)有X軸模組，X軸模組上安裝有R軸組件，位于X軸模組兩側(cè)的基座上設(shè)有雙龍門架，雙龍門架的兩橫梁頂部沿Y軸設(shè)有Y軸模組，所述Y軸模組上安裝有Z軸模組，所述Z軸模組的下部設(shè)有伸入雙龍門架之間間隔處、位于所述R軸組件上的主軸組件；所述Y軸模組的安裝結(jié)構(gòu)為：包括分別設(shè)于兩橫梁頂部的兩Y軸導(dǎo)軌，兩Y軸導(dǎo)軌上通過滑塊組件安裝有Y軸滑臺。本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)受力穩(wěn)定，不易發(fā)生變形，能有效減少震動(dòng)等產(chǎn)生精度不穩(wěn)定的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及龍門式劃片機(jī)裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種Y軸導(dǎo)軌水平布置的雙龍門結(jié)構(gòu)劃片機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有砂輪劃片機(jī)主要分為懸臂式和龍門式兩種不同結(jié)構(gòu)形式，加工小尺寸工件比如4～6寸晶片的設(shè)備多為懸臂式，其主軸是懸伸于轉(zhuǎn)臺之上的；而加工8寸以上大尺寸工件的設(shè)備多為龍門式，其Y軸通過固定的龍門架跨于X軸之上，避免了主軸懸伸于轉(zhuǎn)臺之上的情況，因而比懸臂式具有更高的剛度和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

現(xiàn)有龍門式劃片機(jī)，Y軸導(dǎo)軌布局形式為：兩根導(dǎo)軌平行布局在龍門架的側(cè)面，采用側(cè)裝懸掛的結(jié)構(gòu)方案，此種形式下由于Y軸導(dǎo)軌組件是側(cè)向安裝，重心傾向于一側(cè)，結(jié)構(gòu)受力完全是側(cè)向受力，受力不平衡影響結(jié)構(gòu)剛度。且此類劃片機(jī)多采用單龍門非中心對稱結(jié)構(gòu)，散熱、震動(dòng)對系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性影響大；由于劃片機(jī)很多應(yīng)用場合需要較高精度，如硅晶圓的切割要求200mm行程內(nèi)定位精度在2um以內(nèi)，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，零件變形，震動(dòng)，熱影響等因素都會硬想設(shè)備系統(tǒng)的精度，因此由于結(jié)構(gòu)受力不平衡，易發(fā)生變形，震動(dòng)等產(chǎn)生精度不穩(wěn)定的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，此類結(jié)構(gòu)對傳動(dòng)零件，緊固零件具有很高的質(zhì)量要求，增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本申請人針對上述現(xiàn)有生產(chǎn)技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種結(jié)構(gòu)合理的Y軸導(dǎo)軌水平布置的雙龍門結(jié)構(gòu)劃片機(jī)，從而提高劃片機(jī)整體結(jié)構(gòu)的受力穩(wěn)定性。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：

一種Y軸導(dǎo)軌水平布置的雙龍門結(jié)構(gòu)劃片機(jī)，包括基座，基座上沿X軸設(shè)有X軸模組，X軸模組上安裝有R軸組件，位于X軸模組兩側(cè)的基座上設(shè)有雙龍門架，雙龍門架的兩橫梁頂部沿Y軸設(shè)有Y軸模組，所述Y軸模組上安裝有Z軸模組，所述Z軸模組的下部設(shè)有伸入雙龍門架之間間隔處、位于所述R軸組件上的主軸組件；所述Y軸模組的安裝結(jié)構(gòu)為：包括分別設(shè)于兩橫梁頂部的兩Y軸導(dǎo)軌，兩Y軸導(dǎo)軌上通過滑塊組件安裝有Y軸滑臺。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：

Y軸滑臺的頂面上通過Z向支架安裝所述Z軸模組，其結(jié)構(gòu)為：包括沿Z軸平行間隔設(shè)于所述Z向支架側(cè)面的兩Z向?qū)к墸瑑蒢向?qū)к壣贤ㄟ^滑塊組件滑動(dòng)安裝有Z軸滑臺，所述Z軸滑臺底部沿Y軸延伸有橫向折彎部，其底面上通過主軸連接座安裝有切割主軸。

X軸模組的結(jié)構(gòu)為：包括X向底板，所述X向底板上安裝有兩平行間隔沿X軸延伸的X向?qū)к墸瑑蒟向?qū)к壣贤ㄟ^滑塊組件滑動(dòng)安裝有固定R軸組件的X向滑臺。

R軸組件的結(jié)構(gòu)為：包括三角水平調(diào)節(jié)板，所述三角水平調(diào)節(jié)板與直驅(qū)回轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述直驅(qū)回轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端安裝有真空陶瓷吸盤。

位于兩X向?qū)к壷g的X向底板上安裝有X向絲桿，其上通過與其旋接的絲桿螺母與所述X向滑臺連接，X向絲桿一端與X向電機(jī)傳動(dòng)連接。

位于兩Z向?qū)к壷g的Z向支架上安裝有Z向電機(jī)，其輸出軸與Z向絲桿傳動(dòng)連接，所述Z向絲桿上旋接有與所述Z軸滑臺連接的Z向螺母組件。

位于其中一側(cè)橫梁的頂部安裝Y軸絲桿，其一端與Y軸電機(jī)傳動(dòng)連接，另一端通過軸承支架固定，所述Y軸絲桿上旋接有位于所述Y軸滑臺底部與其連接的Y軸螺母。

本發(fā)明的有益效果如下：

本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便。