[發明專利]一種生長金剛石多晶膜用樣品托及金剛石多晶膜生長方法有效
| 申請號： | 202010053354.8 | 申請日： | 2020-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN111394792B | 公開（公告）日： | 2023-10-24 |
| 發明（設計）人： | 丁雄傑;王忠強;王琦;張國義 | 申請（專利權）人： | 北京大學東莞光電研究院 |
| 主分類號： | C30B28/14 | 分類號： | C30B28/14;C30B29/04;C30B29/64;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/511 |
| 代理公司： | 東莞恒成知識產權代理事務所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 鄧燕 |
| 地址： | 523808 廣東省東莞市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 生長 金剛石 多晶 樣品 方法 | ||
1.一種生長金剛石多晶膜用樣品托，樣品托頂部開設有用于放置襯底的容置槽，其特征在于，樣品托底部設有由若干個同心圓環間隔分布形成的花紋，若干個同心圓環包括有實心圓環帶和空心圓環帶。
2.根據權利要求1所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，單個圓環由實心環帶和空心環帶組成，實心環帶由相同材質制成，空心環帶由若干個空心圖形串聯形成。
3.根據權利要求2所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，若干個空心圖形串聯時接觸連接。
4.根據權利要求2所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，空心圖形為規則圖形或不規則圖形。
5.根據權利要求4所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，規則圖形為圓形、矩形、正多邊形和三角形中的任一種。
6.根據權利要求2所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，單個圓環中，實心環帶所圍成的弧形角度為Y，空心環帶所圍成的弧形角度為X，Y和X的變化范圍分別為0～360°，且X+Y＝360°。
7.根據權利要求2所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，實心環帶和空心環帶設為相互接觸或相互間斷。
8.根據權利要求1所述的一種生長金剛石多晶膜用樣品托，其特征在于，若干個同心圓環間隔均勻分布或非均勻間隔分布。
9.一種使用如權利要求1-8任一項所述的樣品托生長金剛石多晶膜的方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一：對應等離子體球的分布，設置非均勻散熱樣品托；
步驟二：將異質襯底放入樣品托，使用MPCVD法生長多晶金剛石；
步驟三：生長到設定厚度后，即得金剛石多晶膜。
10.根據權利要求9所述的一種金剛石多晶膜生長方法，其特征在于，步驟一中，通過改變樣品托底部同心圓環的數量、間隔寬度、實心圓環帶、空心圓環帶寬度、容置槽深度和空心圖形的形狀大小，實現對應于等離子體球能量分布的非均勻散熱。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京大學東莞光電研究院，未經北京大學東莞光電研究院許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010053354.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種鋼箱梁頂推糾偏結構
- 下一篇：一種熒光檢測裝置及其檢測方法
