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[發(fā)明專利]一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202010050510.5 申請日: 2020-01-14
公開(公告)號: CN111239865B 公開(公告)日: 2022-02-08
發(fā)明(設(shè)計)人: 王玥;崔子健;岳莉莎;張曉菊 申請(專利權(quán))人: 西安理工大學(xué)
主分類號: G02B5/00 分類號: G02B5/00
代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315 代理人: 楊洲
地址: 710048*** 國省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 基于 表面 等離子 多頻太 赫茲 材料 吸收
【權(quán)利要求書】:

1.一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,該吸收器由吸收器單元陣列組成,吸收器單元包括頂層設(shè)計金屬圖樣層、聚酰亞胺介質(zhì)層和底部金屬背板層,其特征在于,頂層設(shè)計金屬圖樣層采用雙開口環(huán)圖樣正交工字圖樣的結(jié)構(gòu),分別用來提供基礎(chǔ)的LC共振模式吸收和偶極子共振模式吸收,吸收器單元結(jié)構(gòu)周期為頂層設(shè)計金屬圖樣橫向尺寸的2~3倍。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,其特征在于,所述的頂層設(shè)計金屬圖樣層和底部金屬背板層采用金、鉻雙層金屬復(fù)合結(jié)構(gòu),所述頂層設(shè)計金屬圖樣層厚度為150~200nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,其特征在于,所述頂層設(shè)計金屬圖樣層中雙開口環(huán)圖樣的橫向尺寸為工字圖樣橫向尺寸的0.85~1.5倍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,其特征在于,所述工字圖樣高度H為40μm~60μm,寬度W為40μm~60μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,其特征在于,所述雙開口環(huán)圖樣寬度w為40μm~60μm,高度h為所述工字圖樣高度的0.4~0.6倍。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,其特征在于,所述雙開口環(huán)圖樣的開口尺寸g為5μm~w/2μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于表面等離子激元的多頻太赫茲超材料吸收器,其特征在于,所述聚酰亞胺介質(zhì)層厚度為6~12μm,介電常數(shù)為2.8~3.5。

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