[發明專利]一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置

在審

• 申請號: 202010049159.8
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111118467A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 馬毅;吳伊帆;謝續友;黃先偉;俞越翎;張泰華
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/54
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發明公開了一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，包括樣品臺腔體、樣品臺上底面及樣品臺下底面，所述樣品臺下底面貼合設置加熱裝置，所述樣品臺腔體內部在位于加熱裝置上方設有冷卻裝置，所述樣品臺上底面頂部設有樣品臺固定裝置，并通過樣品臺固定裝置與真空鍍膜機相固定，所述樣品臺下底面底部設有樣品緊固裝置，并通過樣品緊固裝置對樣品基材進行固定；本發明的有益效果是：該裝置設計巧妙，結構合理，使用方便，運用本裝置為樣品進行溫度調節，方便滿足了不同基材對鍍膜時溫度的需求，擴大了真空鍍膜機所能加工的的樣品種類范圍，對真空鍍膜的研究領域具有重要的意義。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術領域，具體涉及一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置。

技術背景

真空鍍膜技術（vacuum deposition）是一種新穎的材料合成與加工的新技術，是表面工程技術領域的重要組成部分，為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝。真空鍍膜相對于濕式鍍膜方法而言，提高了薄膜的結合能力，能更好地控制好薄膜的均勻程度和薄膜的厚度，并且減少了對環境的污染。隨著真空鍍膜技術的不斷發展，不同材料對鍍膜加工時候的溫度需求也在不斷變化，但是目前一直沒有一種便攜式升溫樣品臺來解決該類問題。為此該發明提供了一種解決方案思路，基于電熱片加熱的便攜式樣品臺。

發明內容

為了改進當前的真空鍍膜機在進行真空鍍膜工作時候，不同的材料的基材對工作溫度調節范圍的不足，本發明提出了一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置。

本發明技術方案如下:

一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，包括樣品臺腔體、樣品臺上底面及樣品臺下底面，所述樣品臺下底面貼合設置加熱裝置，所述樣品臺腔體內部在位于加熱裝置上方設有冷卻裝置，所述樣品臺上底面頂部設有樣品臺固定裝置，并通過樣品臺固定裝置與真空鍍膜機相固定，所述樣品臺下底面底部設有樣品緊固裝置，并通過樣品緊固裝置對樣品基材進行固定。

所述的一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括硅膠電熱片及導熱硅膠，所述硅膠電熱片通過導熱硅膠與樣品臺下底面固定。

所述的一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，所述冷卻裝置包括水冷管及水冷管固定支架，所述水冷管通過水冷管固定支架固定設置在樣品臺腔體內。

所述的一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品緊固裝置包括螺母、限位板及螺栓，所述螺母固定設置在樣品臺下底面上，所述限位板穿設在螺栓上，并通過螺母在螺栓進行限位。

所述的一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺固定裝置包括固定圓盤，所述固定圓盤置于樣品臺上底面，通過固定圓盤使得該樣品臺與真空鍍膜機相固定。

所述的一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺腔體外壁上開設有導線導管孔，所述硅膠電熱片通過導線導管孔與外界電源相連，所述水冷管的管口通過導線導管孔與真空鍍膜機的水冷機相連。

所述的一種基于電熱片加熱的便攜式升溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺下底面頂部固定設置溫度傳感器。

本發明的有益效果是：該裝置設計巧妙，結構合理，使用方便，運用本裝置為樣品進行溫度調節，方便滿足了不同基材對鍍膜時溫度的需求，擴大了真空鍍膜機所能加工的的樣品種類范圍，對真空鍍膜的研究領域具有重要的意義。

附圖說明

圖1為本發明安裝示意圖；

圖2為本發明的左視圖；

圖3為本發明的結構示意圖；

圖4為本發明的水冷管示意圖；

圖5為本發明的正等軸測圖；