[發明專利]一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置

在審

• 申請號: 202010049136.7
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111058008A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 馬毅;吳伊帆;謝續友;黃先偉;俞越翎;張泰華
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/54
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發明公開了一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置，包括腔體、腔體內制冷裝置、腔體外冷卻裝置、控制顯示裝置及樣品固定裝置，所述腔體內制冷裝置包括支撐柱及設置在支撐柱上的S型紫銅盤管，所述腔體外冷卻裝置包括氮氣罐、液氮罐、紫銅盤管及紫銅管，所述紫銅盤管設置在液氮罐內，且與氮氣罐之間通過連接管道相連通，所述紫銅盤管與S型紫銅盤管之間通過紫銅管連通。本發明的有益效果是：該裝置設計巧妙，結構合理，使用方便，運用本裝置為樣品進行溫度調節，方便滿足了不同基材對加工溫度的需求，擴大了真空鍍膜機所能加工的的樣品種類范圍，對真空鍍膜的研究領域具有重要的意義。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術領域，具體涉及一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置。

技術背景

真空鍍膜技術（vacuum deposition）是一種新穎的材料合成與加工的新技術，是表面工程技術領域的重要組成部分，為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝。真空鍍膜相對于濕式鍍膜方法而言，提高了薄膜的結合能力，能更好地控制好薄膜的均勻程度和薄膜的厚度，并且減少了對環境的污染。隨著真空鍍膜技術的不斷發展，不同材料對鍍膜加工時候的溫度需求也在不斷變化，但是目前一直沒有一種便攜式低溫樣品臺來解決該類問題。為此該發明提供了一種解決方案思路，基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺。

發明內容

為了改進當前的真空鍍膜機在進行真空鍍膜工作時候，不同的材料的基材對工作溫度調節范圍的不足，本發明提出了一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置。

本發明技術方案如下:

一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置，其特征在于，包括腔體、腔體內制冷裝置、腔體外冷卻裝置、控制顯示裝置及樣品固定裝置，所述腔體內制冷裝置包括支撐柱及設置在支撐柱上的S型紫銅盤管，所述腔體外冷卻裝置包括氮氣罐、液氮罐、紫銅盤管及紫銅管，所述紫銅盤管設置在液氮罐內，且與氮氣罐之間通過連接管道相連通，所述紫銅盤管與S型紫銅盤管之間通過紫銅管連通。

所述的一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置，其特征在于，所述控制顯示裝置包括控制顯示組件、溫度傳感器及控制閥門，所述控制顯示組件設置在氮氣連接管道上，所述溫度傳感器設置在腔體外側，所述控制閥門設置在氮氣罐頂部，所述控制顯示組件與溫度傳感器電信號相連，所述控制閥門與控制顯示組件電信號相連。

所述的一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品固定裝置包括基材緊固裝置及樣品臺固定裝置，所述基材緊固裝置包括螺桿、螺母及限位板，所述螺桿固定設置在腔體頂部，所述限位板穿設在螺桿上，并通過螺母進行夾緊；所述樣品臺固定裝置包括固定圓盤，所述固定圓盤固定于腔體上表面，并通過固定圓盤與真空鍍膜機固定連接。

所述的一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置，其特征在于，所述S型紫銅盤管上設有進氣口及出氣口，所述進氣口與紫銅管相連，并通過出氣口排出腔體。

所述的一種基于液氮制冷的升降溫便攜式樣品臺裝置，其特征在于，所述紫銅管的外面包裹有石棉。

本發明的有益效果是：該裝置設計巧妙，結構合理，使用方便，運用本裝置為樣品進行溫度調節，方便滿足了不同基材對加工溫度的需求，擴大了真空鍍膜機所能加工的的樣品種類范圍，對真空鍍膜的研究領域具有重要的意義。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖；

圖2是本發明的腔體內部示意圖；

圖中：1-液氮罐；2-紫銅盤管；3-紫銅管；4-螺母；5-限位板；6-螺栓；7-固定圓盤；8-溫度傳感器；9-腔體；10-樣品基材；11-防水耐高溫線纜；12-控制顯示組件；13-閥門；14-氮氣罐；15-支撐柱；16-S型紫銅盤管；17-出氣口；18-進氣口。

具體實施方式