[發(fā)明專利]藥液配比方法及藥液配比裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010048705.6
• 申請(qǐng)日: 2020-01-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111214972B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文杰;張明;馬超;牛超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B01F23/40
• 分類號(hào): B01F23/40;B01F35/83
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種藥液配比裝置，其特征在于，包括：第一容器、第二容器、緩存管、混液管、第一流量計(jì)、流量控制裝置以及分別與所述第一容器連通的第一管路、第二管路；

所述第一管路用于輸送第一藥液；

所述第二管路用于輸送第二藥液；

所述第一流量計(jì)用于采集所述第一藥液的第一流量值，并將所述第一流量值發(fā)送給所述流量控制裝置；

所述第二容器與所述第二管路連接，用于緩存所述第二藥液；

所述緩存管的進(jìn)液端與所述第二管路的出液端連接，所述緩存管出液端與所述第二容器連接；所述緩存管上設(shè)置有第二開(kāi)關(guān)；所述混液管的進(jìn)液端分別與所述緩存管的出液端、所述第二管路的出液端連接，所述混液管的出液端與所述第一容器連接，所述混液管上設(shè)置有第三開(kāi)關(guān)；

所述流量控制裝置用于在所述第一管路與所述第二管路同時(shí)向所述第一容器注液時(shí)，根據(jù)所述第一流量值和預(yù)設(shè)的藥液比例值計(jì)算獲得所述第二藥液的第二流量值，并根據(jù)所述第二流量值，將所述第二藥液的流量維持在以所述第二流量值為中心的第一預(yù)設(shè)數(shù)值范圍內(nèi)；所述流量控制裝置還用于在將所述第一藥液注入到第一容器的步驟之前，向第二容器注入所述第二藥液，直至所述第二容器中第二藥液的流量達(dá)到一設(shè)定經(jīng)驗(yàn)值為止，以控制所述第二藥液的流量維持在所述設(shè)定經(jīng)驗(yàn)值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液配比裝置，其特征在于，所述第一流量計(jì)為超聲波流量計(jì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液配比裝置，其特征在于，所述流量控制裝置包括：

磁懸浮泵，用于獲取所述第一流量值，并根據(jù)所述第一流量值計(jì)算獲得所述第二流量值；

第二流量計(jì)，與所述磁懸浮泵串聯(lián)，用于采集所述第二藥液的流量值。

4.一種藥液配比方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)的藥液配比裝置，所述方法包括：

向所述第二容器注入所述第二藥液，直至所述第二容器中第二藥液的流量達(dá)到所述設(shè)定經(jīng)驗(yàn)值為止，以控制所述第二藥液的流量維持在所述設(shè)定經(jīng)驗(yàn)值；

將第一藥液注入到第一容器；

在注入所述第一藥液的同時(shí)，將第二藥液注入所述第一容器；

實(shí)時(shí)獲取所述第一藥液的第一流量值；

根據(jù)所述第一流量值和預(yù)設(shè)的藥液比例值計(jì)算獲得所述第二藥液的第二流量值；

根據(jù)所述第二流量值，將所述第二藥液的流量維持在以所述第二流量值為中心的第一預(yù)設(shè)數(shù)值范圍內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藥液配比方法，其特征在于，在根據(jù)所述第二流量值，將所述第二藥液的流量維持在以所述第二流量值為中心的第一預(yù)設(shè)數(shù)值范圍內(nèi)的步驟之后，還包括：

實(shí)時(shí)判斷所述第二容器中所述第二藥液的容量是否小于第一緩存容量，

若判斷結(jié)果為所述第二藥液的容量小于所述第一緩存容量，則繼續(xù)向所述第二容器中注入所述第二藥液，直至所述第二容器中第二藥液的容量等于所述第一緩存容量為止。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藥液配比方法，其特征在于，在所述根據(jù)所述第二流量值，將所述第二藥液的流量維持在以所述第二流量值為中心的第一預(yù)設(shè)數(shù)值范圍內(nèi)的步驟之后，還包括：

判斷所述第一容器中的藥液總量是否已達(dá)到一設(shè)定容量；

若判斷結(jié)果為所述第一容器中的藥液總量已達(dá)到所述設(shè)定容量，則停止將所述第一藥液與所述第二藥液同時(shí)注入到所述第一容器；

若判斷結(jié)果為所述第一容器中的藥液總量未達(dá)到所述設(shè)定容量，則繼續(xù)實(shí)時(shí)獲取所述第一藥液的第一流量值；根據(jù)所述第一流量值和預(yù)設(shè)的藥液比例值計(jì)算獲得所述第二藥液的第二流量值；根據(jù)所述第二流量值，將所述第二藥液的流量維持在以所述第二流量值為中心的第一預(yù)設(shè)數(shù)值范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的藥液配比方法，其特征在于，根據(jù)所述第一流量值和預(yù)設(shè)的藥液比例值計(jì)算獲得所述第二藥液的第二流量值的步驟之后，還包括：

將所述第二流量值與預(yù)設(shè)的藥液比例值相乘，得到計(jì)算流量值；

判斷所述計(jì)算流量值與第一流量值的差值是否大于預(yù)設(shè)的流量閾值；

若判斷結(jié)果為是，則發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并停止將所述第一藥液與所述第二藥液同時(shí)注入到所述第一容器。