[發明專利]一種磁控濺射靶材組件及其制備方法

有效

• 申請號: 202010046911.3
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111172505B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 任麗;朱劉;宋世金
• 申請（專利權）人: 廣東先導稀材股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種磁控濺射靶材組件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：先采用石墨烯納米片為原料制備石墨烯納米片紙，然后把石墨烯納米片紙與背板交替疊加在一起后置于平板硫化機下進行壓制，即可得到石墨烯納米片紙/背板復合層，之后把石墨烯納米片紙/背板復合層與電極、靶材貼合在一起，即可得到磁控濺射靶材組件；

置于平板硫化機下進行壓制的壓力為10～15MPa，壓制時間為10～30min；

所述石墨烯納米片的層數為5～6層；

所述石墨烯納米片的直徑為5～8μm；

制備得到的石墨烯納米片紙的厚度為100～200μm。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，交替疊加的具體步驟為：把兩塊石墨烯納米片紙與一塊背板交替疊加。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，制備石墨烯納米片紙的具體制備步驟為：先將石墨烯納米片置于分散劑中，使石墨烯納米片與分散劑配置成0.002g/ml的分散液，然后使用磁力攪拌器攪拌至均勻后，置于超聲波機中超聲分散均勻后得到石墨烯分散液，最后將石墨烯分散液過濾、干燥后即可得到所述的石墨烯納米片紙。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，過濾、干燥的具體步驟為：先每次量取50ml的石墨烯分散液進行抽濾后得到石墨烯納米片濾餅，然后將抽濾完畢得到的石墨烯納米片濾餅置于200～600℃真空烘箱中2～6h。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述背板為銅片或者鋁片。

6.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述分散劑為去離子水、無水乙醇、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮中的一種。

7.一種磁控濺射靶材組件，其特征在于，該磁控濺射靶材組件采用權利要求1～6任一所述的一種磁控濺射靶材組件的制備方法制備而成。