[發明專利]加工裝置在審
| 申請號： | 202010046262.7 | 申請日： | 2020-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN111497042A | 公開（公告）日： | 2020-08-07 |
| 發明（設計）人： | 力石利康;片桐恭 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;B28D7/04;B24B55/00;B24B41/06;H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種加工裝置，其中，
該加工裝置具有：
卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；
加工單元，其一邊對該卡盤工作臺所保持的被加工物提供加工水一邊實施加工；以及
防水盤，其固定于該加工裝置的底部，接住漏水。
2.根據權利要求1所述的加工裝置，其中，
該加工裝置還具有配設于該底部的多個腳部，
該防水盤遍及于該腳部而被固定。
3.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其中，
該防水盤按照其底壁與水平面傾斜的方式被固定，漏出到該防水盤的漏水被匯集于底壁的規定的低位置，在該規定的低位置配設有漏水傳感器。
4.根據權利要求3所述的加工裝置，其中，
在該防水盤的與該規定的低位置對應的位置配設有排水單元。
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