[發明專利]一種芯片自動化檢測裝置有效
| 申請號: | 202010045655.6 | 申請日: | 2020-01-16 |
| 公開(公告)號: | CN111103528B | 公開(公告)日: | 2022-03-18 |
| 發明(設計)人: | 周露露;李立 | 申請(專利權)人: | 無錫杰進科技有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/28 | 分類號: | G01R31/28;G06F8/61 |
| 代理公司: | 北京高航知識產權代理有限公司 11530 | 代理人: | 喬浩剛 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫市無錫蠡園開*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 自動化 檢測 裝置 | ||
1.一種芯片自動化檢測裝置,其特征在于,包括:
支撐架;
燒錄裝置(13),通過第一電動伸縮桿(12)固定連接在支撐架上;
帶有多個檢測頭(17)的檢測裝置(15),通過第二電動伸縮桿(14)固定連接在支撐架上,
其中
所述檢測裝置(15)中設有密封通道(43),所述密封通道(43)中滑動密封連接有第一活塞盤(44),所述第一活塞盤(44)上端通過拉簧(45)連接在所述的密封通道(43)頂壁上,所述檢測頭(17)連接在所述的第一活塞盤(44)底側,所述第一活塞盤(44)與檢測頭(17)之間設有拉力傳感器(46),所述檢測裝置(15)底側固定設有磁鐵環(47),所述的檢測頭(17)下端位于所述磁鐵環(47)中,所述的磁鐵環(47)將所述的檢測頭(17)磁化,當所述的檢測頭(17)靠近芯片(21)上的金屬端子時拉力傳感器(46)接收信號并控制所述的第一活塞盤(44)驅動裝置驅動所述的第一活塞盤(44)帶動檢測頭(17)向下移動接觸芯片(21)的金屬端子;所述磁鐵環為電磁鐵,在檢測裝置向下移動時電磁鐵關閉;
第一芯片支撐臺(20)和第二芯片支撐臺(19),固定連接在支撐架上;
伸縮翻轉桿(18),連接在所述的支撐架上;
真空吸盤(23),通過連接桿(22)連接在所述的伸縮翻轉桿(18)上,用于吸住所述的芯片(21)。
2.根據權利要求1所述的一種芯片自動化檢測裝置,其特征在于,所述的第一活塞盤(44)驅動裝置包括第一氣泵(1401)、第一出氣管(39)、第一連通管(40)和帶有第一電磁閥(42)的第二連通管(41),所述第一出氣管(39)一端連接在所述的第一氣泵(1401)出氣端,另一端連接在所述的第一連通管(40)上,所述第二連通管(41)兩端分別與所述的第一連通管(40)和密封通道(43)相連。
3.根據權利要求2所述的一種芯片自動化檢測裝置,其特征在于,還包括帶有觸摸屏(6)的計算機(16),所述的第一電磁閥(42)、拉力傳感器(46)、第一氣泵(1401)均與所述的計算機(16)電性相連。
4.根據權利要求1所述的一種芯片自動化檢測裝置,其特征在于,還包括用于驅動所述的伸縮翻轉桿(18)工作的驅動設備,所述驅動設備包括固定在支撐架上的第三電動伸縮桿(5),所述第三電動伸縮桿(5)上端固定連接有伺服電機(4),所述伺服電機(4)驅動端連接有伸縮筒(3),所述伸縮翻轉桿(18)滑動設置在所述的伸縮筒(3)中。
5.根據權利要求4所述的一種芯片自動化檢測裝置,其特征在于,所述伸縮筒(3)中滑動密封連接有第二活塞盤(27),所述伸縮翻轉桿(18)固定連接在所述的第二活塞盤(27)上,所述支撐架上固定連接有第二氣泵(24),所述第二氣泵(24)出氣端連接有第二出氣管(25)和第三出氣管(30),所述第二出氣管(25)和第三出氣管(30)分別連接在伸縮筒(3)的兩端,所述第二出氣管(25)上連接有第二電磁閥(26),所述第三出氣管(30)上連接有第七電磁閥(48),所述伸縮筒(3)兩端分別連接有第三電磁閥(28)和第四電磁閥(29)。
6.根據權利要求5所述的一種芯片自動化檢測裝置,其特征在于,所述伸縮翻轉桿(18)和連接桿(22)均呈中空結構,所述的連接桿(22)與所述的真空吸盤(23)連通,所述的伸縮翻轉桿(18)位于伸縮筒(3)中的一端連接有插管(38),所述伸縮筒(3)內壁上連接有插管接頭(37),所述的插管(38)插入所述的插管接頭(37)中,所述插管接頭(37)上通過第一吸氣管(35)與所述的第二氣泵(24)吸氣端相連,所述第一吸氣管(35)上連接有第五電磁閥(36),所述第二氣泵(24)吸氣端連接有第二吸氣管(34),所述第二吸氣管(34)上連接有第六電磁閥(33),所述第二氣泵(24)出氣端連接有第四出氣管(31),所述第四出氣管(31)上連接有第八電磁閥(32)。
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