[發(fā)明專利]等離子蝕刻的自動除粉裝置及方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010045534.1
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111136901A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁雪苗;趙公魄
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海寶豐堂電子科技有限公司
• 主分類號: B29C59/14
• 分類號: B29C59/14;B08B1/02;B08B5/02;B08B15/04;B29L7/00
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 張志輝

本發(fā)明公開了一種等離子蝕刻的自動除粉裝置，包括：蝕刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于輸送基板的傳動輥；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于輸送基板的傳動輥；活動閘板，設(shè)置于蝕刻腔室和除粉腔室之間，可隔離或連通蝕刻腔室和除粉腔室；毛刷組件，安裝于除粉腔室內(nèi)，與基板的表面接觸，可相對基板沿第一水平方向往復(fù)移動；吹氣口，設(shè)置于除粉腔室內(nèi)，朝向基板的表面吹氣；吸塵器，與除粉腔室相連通。本發(fā)明還公開了一種等離子蝕刻的自動除粉方法。在正常蝕刻作業(yè)時，打開活動閘板可連通蝕刻腔室和除粉腔室，將基板通過傳動輥從蝕刻腔室輸送到除粉腔室內(nèi)，清理掉基板表面的殘留粉塵，然后再將基板轉(zhuǎn)移回蝕刻腔室，提高蝕刻效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及等離子蝕刻的自動除粉裝置及方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的等離子蝕刻在蝕刻有機物樹脂材料的時候，當蝕刻到一定程度的時候，基板的表面會產(chǎn)生等離子氣體和樹脂材料化學反應(yīng)后的殘留粉塵，粉塵的產(chǎn)生會殘留在基板的表面，受粉塵阻擋的影響，蝕刻速度嚴重下降，通常需要人工將基板拿出來，將其表面的殘留粉塵清理掉，才能進一步進行蝕刻，如此反復(fù)操作嚴重影響了蝕刻效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種等離子蝕刻的自動除粉裝置，能夠有效地清理掉基板表面的殘留粉塵，提高蝕刻效率。

本發(fā)明還提出一種等離子蝕刻的自動除粉方法。

根據(jù)本發(fā)明第一方面實施例的等離子蝕刻的自動除粉裝置，包括：蝕刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于輸送基板的傳動輥；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于輸送基板的傳動輥；活動閘板，設(shè)置于所述蝕刻腔室和所述除粉腔室之間，可隔離或連通所述蝕刻腔室和所述除粉腔室；毛刷組件，安裝于所述除粉腔室內(nèi)，與所述基板的表面接觸，可相對所述基板沿第一水平方向往復(fù)移動；吹氣口，設(shè)置于所述除粉腔室內(nèi)，朝向所述基板的表面吹氣；吸塵器，與所述除粉腔室相連通。

至少具有如下有益效果：本除粉裝置在正常蝕刻作業(yè)時，活動閘板隔離蝕刻腔室和除粉腔室，兩者相互不受影響，當基板蝕刻到一定程度且表面被殘留粉塵覆蓋時，打開活動閘板以連通蝕刻腔室和除粉腔室，可將基板通過傳動輥從蝕刻腔室輸送到除粉腔室內(nèi)，通過毛刷組件與基板的表面接觸，并相對往復(fù)移動以將基板表面的粉塵清掃，結(jié)合吹氣口朝向基板的表面吹氣，從而將粉塵揚起，使脫離基板表面的粉塵能夠被吸塵器吸走，從而有效地清理掉基板表面的殘留粉塵，然后再將基板轉(zhuǎn)移回蝕刻腔室以繼續(xù)進行蝕刻，提高蝕刻效率。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，多根所述傳動輥可同步正轉(zhuǎn)及同步反轉(zhuǎn)，所述基板放置于所述傳動輥上。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述毛刷組件包括輪軸和毛刷輪，所述毛刷輪與輪軸旋轉(zhuǎn)連接，所述輪軸固定安裝于所述除粉腔室內(nèi)。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述毛刷組件包括輪軸和毛刷輪，所述毛刷輪與輪軸旋轉(zhuǎn)連接，所述輪軸可在所述除粉腔室內(nèi)沿第一水平方向往復(fù)移動。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述吹氣口連通壓縮空氣源。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述毛刷組件和所述吹氣口均分布于所述除粉腔室的頂部，所述吸塵器與所述除粉腔室的底部相連通。

根據(jù)本發(fā)明第二方面實施例的等離子蝕刻的自動除粉方法，包括以下步驟：步驟一、提供蝕刻腔室和除粉腔室，將待蝕刻的基板放置于所述蝕刻腔室內(nèi)，隔離所述蝕刻腔室和所述除粉腔室；步驟二、蝕刻腔室對基板的表面進行蝕刻，當粉塵達到一定厚度時，停止蝕刻；步驟三、連通所述蝕刻腔室和所述除粉腔室，將基板從所述蝕刻腔室轉(zhuǎn)移至所述除粉腔室內(nèi)，然后隔離所述蝕刻腔室和所述除粉腔室；步驟四、提供毛刷組件和吹氣口，通過毛刷組件與基板的表面接觸并相對基板往復(fù)移動，以清掃基板表面的粉塵，同時吹氣口朝向基板的表面吹氣，將粉塵揚起；步驟五、提供吸塵器，將脫離基板表面的粉塵吸走；步驟六、將基板從所述除粉腔室轉(zhuǎn)移至所述蝕刻腔室內(nèi)；步驟七、重復(fù)步驟一至六，直至基板蝕刻完畢。