[發明專利]一種基于自準直儀的微小角度檢測裝置及方法有效
| 申請號： | 202010045377.4 | 申請日： | 2020-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN111174733B | 公開（公告）日： | 2022-07-19 |
| 發明（設計）人： | 裴行行;王華;張凱勝;王東;王海波 | 申請（專利權）人： | 西安中科微星光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26;G01B11/27;G01B11/16 |
| 代理公司： | 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹衛良 |
| 地址： | 710119 陜西省西安市高*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 準直儀 微小 角度 檢測 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于自準直儀的微小角度檢測裝置，其特征在于，包括：光源組件、與所述光源組件連接自準直儀、與所述自準直儀對應的反射鏡、設置在所述自準直儀內部的探測器、設置在所述自準直儀上的楔形鏡組件、以及與所述自準直儀連接的計算機控制系統；
其中，
所述光源組件用于點亮準直儀分劃板并提供測試光束；
測試光束通過分光棱鏡反射，由物鏡形成平行光，經半口徑楔形鏡后形成兩個光束：第一光束和第二光束，所述第一光束平行射出且射向第一反射鏡，所述第二光束帶角度射出且射向第二反射鏡；
兩個光束分別經兩個反射鏡反射后，通過自準直儀物鏡匯聚在CCD探測器的光敏面上；
所述楔形鏡組件包括楔形鏡和連接件，所述楔形鏡通過連接件安裝在自準直儀上；
所述探測器用于檢測光束焦點的偏移距離；
所述計算機控制系統進行數據采集并計算；
所述楔形鏡為半口徑楔形鏡；
所述分劃板采用十字分劃板。
2.如權利要求1所述的一種基于自準直儀的微小角度檢測裝置，其特征在于，所述光源組件提供的光源為鹵素光源。
3.如權利要求1所述的一種基于自準直儀的微小角度檢測裝置，其特征在于，所述探測器為CCD探測器。
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