[發明專利]基板檢測裝置、檢測機構及整板組件

在審

• 申請號: 202010045362.8
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111123025A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 林詠華;沈炳元
• 申請（專利權）人: 深圳市凱碼時代科技有限公司
• 主分類號: G01R31/01
• 分類號: G01R31/01;G01R1/04;G01B11/00;B65G47/90
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 陳秀麗

1.一種整板組件，其特征在于，包括：

夾具單元，包括兩個相對設置的夾持件，兩個相對設置所述夾持件用于沿第一方向夾持基板；及

整板單元，包括兩個相對設置的整板件，兩個相對設置所述整板件用于沿第二方向抵接于所述基板，所述第二方向與所述第一方向相交。

2.根據權利要求1所述的整板組件，其特征在于，所述夾持件包括第一夾持部、第二夾持部及驅動件，所述驅動件用于驅動所述第一夾持部相對于所述第二夾持部轉動。

3.根據權利要求2所述的整板組件，其特征在于，所述驅動件包括驅動源及推動部，所述第一夾持部可轉動地設置于所述第二夾持部上，所述驅動源用于推動所述推動部移動，所述推動部能夠推動所述第一夾持部轉動。

4.根據權利要求3所述的整板組件，其特征在于，所述第一夾持部上開設有條形槽，所述推動部上形成有導柱，所述導柱穿設于所述條形槽內，并能夠在所述條形槽內移動。

5.根據權利要求1-4任一項所述的整板組件，其特征在于，所述夾具單元還包括第一同步件，所述第一同步件用于驅動至少一所述夾持件向朝向或遠離另一所述夾持件的方向移動。

6.根據權利要求5所述的整板組件，其特征在于，所述整板單元還包括第二同步件，所述第二同步件用于驅動至少一所述整板件向朝向另一所述整板件的方向移動。

7.根據權利要求6所述的整板組件，其特征在于，所述第一同步件包括第一同步源、兩個間隔設置的第一同步輪及第一同步帶，所述第一同步帶繞過兩個所述第一同步輪，所述第一同步源用于驅動所述第一同步帶移動，其中一所述夾持件設置于位于所述第一同步輪一側的所述第一同步帶上，另一所述夾持件設置于相對的另一側的所述第一同步帶上；和/或

所述第二同步件包括第二同步源、兩個間隔設置的第二同步輪及第二同步帶，所述第二同步帶繞過兩個所述第二同步輪，所述第二同步源用于驅動所述第二同步帶移動，其中一所述整板件設置于位于所述第二同步輪一側的所述第二同步帶上，另一所述整板件設置于相對的另一側的所述第二同步帶上。

8.一種檢測機構，其特征在于，包括：

如權利要求1-7任一項所述的整板組件；及

檢測組件，用于檢測基板。

9.根據權利要求8所述的檢測機構，其特征在于，所述檢測組件包括檢測件及調節單元，所述調節單元用于微調所述檢測件相對于所述基板的位置。

10.根據權利要求9所述的檢測機構，其特征在于，所述調節單元包括第一調節件及第二調節件，所述檢測件設置于所述第一調節件上，所述第一調節件設置于所述第二調節件上，所述第一調節件用于帶動所述檢測件沿X軸方向移動，所述第二調節件用于帶動所述檢測件沿Y軸方向移動。

11.根據權利要求10所述的檢測機構，其特征在于，所述第一調節件包括第一安裝板及第一傳動件，所述檢測件設置于所述第一安裝板上，所述第一安裝板可移動地安裝于所述第二調節件上，所述第一傳動件用于驅動所述第一安裝板在所述第二調節件上沿X軸方向移動；所述第一調節件還包括第一光柵尺及第一讀頭，所述第一光柵尺與所述第一讀頭分別設置于所述第一安裝板上和所述第二調節件上，所述第一讀頭能夠讀取所述第一光柵尺上的尺寸數值；和/或

所述第二調節件包括第二安裝板及第二傳動件，所述第一調節件設置于所述第二安裝板上，所述第二安裝板用于安裝在機架上，所述第二傳動件用于驅動所述第二安裝板在所述機架上沿Y軸方向移動；所述第二調節件還包括第二光柵尺及第二讀頭，所述第二光柵尺與所述第二讀頭分別設置于所述第二安裝板上和所述機架上，所述第二讀頭能夠讀取所述第二光柵尺上的尺寸數值。

12.根據權利要求10所述的檢測機構，其特征在于，所述調節單元還包括角度調節件，所述角度調節件用于調節所述檢測件相對于所述基板轉動。