[發(fā)明專利]磁場感測裝置及其使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010043391.0
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111443310B
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發(fā)明（設計）人: U·奧塞勒克納
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02;G01R33/07
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 張昊

本公開的各實施例涉及磁場感測裝置及其使用方法。例如，提供了一種感測元件，包括檢測第一磁場分量的磁性傳感器、以給定頻率向磁性傳感器施加至少一個附加磁場分量的至少一個AC磁場發(fā)生器，其中，第一磁場分量和至少一個附加磁場分量彼此正交，至少一個解調器使用給定頻率來確定感測元件相對于至少一個附加磁場分量的靈敏度。此外，提出了操作這種感測元件的多種方法。

技術領域

本發(fā)明的實施例涉及磁場的感測，具體地，涉及即使存在磁串擾，也感測至少一個磁場分量。

背景技術

磁場感測技術應用廣泛。然而，在存在磁串擾的情況下，磁場感測難以順利實現(xiàn)。

發(fā)明內容

目的是改善對磁場分量的感測。

這根據獨立權利要求的特征來解決。進一步的實施例來自從屬權利要求。

本文建議的示例尤其可基于以下解決方案中的至少一個。可利用以下特征的組合來實現(xiàn)期望結果。方法的特征可與設備、裝置或系統(tǒng)的任何特征組合，反之亦然。

提出了一種感測元件，包括：

–磁性傳感器，檢測第一磁場分量，

–至少一個AC磁場發(fā)生器，以給定頻率向磁性傳感器施加至少一個附加磁場分量，

–其中第一磁場分量和至少一個附加磁場分量彼此正交，

–至少一個解調器，使用給定頻率來確定感測元件相對于至少一個附加磁場分量的靈敏度。

根據一個實施例，基于由至少一個AC磁場發(fā)生器提供的至少一個附加磁場分量和檢測至少一個附加磁場分量的至少一個附加磁場傳感器來確定第一磁場分量。

應注意，至少一個磁場分量可以是基帶外的電子信號，并且由至少一個附加磁場分量檢測的磁場分量可以在該基帶內。因此，附加傳感器不檢測由AC磁場發(fā)生器生成的磁場分量。

根據一個實施例，確定第一磁場分量B_i包括：

–基于解調并且可選地濾波的輸出信號S_ij·B′_j除以由AC磁場發(fā)生器施加的附加磁場分量B′_j，確定靈敏度S_ij，其中i，j∈{x，y，z}且i≠j，

–將靈敏度S_ij乘以由附加磁性傳感器確定的附加磁場分量B_j。

根據一個實施例，基于以下方程確定磁場分量B_i

其中j可以是與方向i正交的任何方向，并且其中S_outi是感測元件的輸出信號。

應注意，靈敏度S_ij可通過設計已知。

可選地，i可以是笛卡爾坐標系中的y坐標，以及j可以是x或z坐標中的任一個。

根據一個實施例，每個AC磁場發(fā)生器與磁性傳感器電屏蔽。

根據一個實施例，磁性傳感器是以下任一種：

-垂直霍爾效應設備，

-霍爾板，

-MR傳感器，尤其是以下傳感器中的至少一種：

–-AMR傳感器，

–-GMR傳感器，

–-TMR傳感器。

根據一個實施例，每個AC磁場發(fā)生器的頻率或帶寬不同于第一磁場分量的頻率或帶寬。