[發(fā)明專利]一種用于硅片加工的上料裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010042523.8
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111252546A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張利紅
• 申請（專利權(quán)）人: 張利紅
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 郭童瑜

本發(fā)明公開了一種用于硅片加工的上料裝置，包括基臺，所述基臺頂部外壁兩側(cè)固定有支撐桿，且兩個支撐桿頂端固定有同一個頂板，頂板底部外壁開有安裝口，安裝口相對兩側(cè)內(nèi)壁轉(zhuǎn)動安裝有同一個螺桿，螺桿一端傳動連接有驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述安裝口頂部內(nèi)壁開有導(dǎo)向槽，且導(dǎo)向槽內(nèi)滑動插接有導(dǎo)向塊，導(dǎo)向塊底部外壁兩側(cè)固定有滑塊，兩個滑塊螺紋套接在螺桿上，且兩個滑塊底部固定有同一個連接板，所述連接板底部外壁固定有伸縮桿，且伸縮桿的延長桿底端固定有固定板，固定板底部固定有吸附機(jī)構(gòu)，吸附機(jī)構(gòu)頂部外壁與固定板之間固定有多個等距離分布的壓縮彈簧。本發(fā)明能夠避免吸盤與硅片初始接觸力度過大，使得擠壓作用力降低，提高對硅片的防護(hù)能力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片上料設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于硅片加工的上料裝置。

背景技術(shù)

硅也是極為常見的一種元素，而硅片則是硅元素經(jīng)過一系列加工后形成的片狀硅物質(zhì)，其廣泛應(yīng)用在各個領(lǐng)域，而在硅片的生產(chǎn)加工中，需要將硅片從硅片盒內(nèi)取出進(jìn)行上料，從而滿足后續(xù)的生產(chǎn)需求。

經(jīng)檢索，中國專利申請?zhí)枮镃N208000899U的專利，公開了一種硅片加工用上料機(jī)構(gòu)，包括橫桿，所述橫桿表面設(shè)置有導(dǎo)軌，且導(dǎo)軌表面滾動連接有安裝板，所述安裝板內(nèi)表壁焊接有夾持板，且夾持板內(nèi)表壁轉(zhuǎn)動連接有輥軸，所述安裝板外表面設(shè)置有液壓缸，且液壓缸通過液壓伸縮桿與上料板連接，所述上料板兩側(cè)外表壁對稱卡接有限位桿，所述上料板上表面兩側(cè)對稱設(shè)置有四個真空泵，且四個真空泵通過真空管分別與上料板下表面的四個真空吸盤連接。上述專利中存在一些不足：在進(jìn)行硅片吸附工作時容易產(chǎn)生硬性擠壓，進(jìn)而造成硅片破損。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種用于硅片加工的上料裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

一種用于硅片加工的上料裝置，包括基臺，所述基臺頂部外壁兩側(cè)固定有支撐桿，且兩個支撐桿頂端固定有同一個頂板，頂板底部外壁開有安裝口，安裝口相對兩側(cè)內(nèi)壁轉(zhuǎn)動安裝有同一個螺桿，螺桿一端傳動連接有驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述安裝口頂部內(nèi)壁開有導(dǎo)向槽，且導(dǎo)向槽內(nèi)滑動插接有導(dǎo)向塊，導(dǎo)向塊底部外壁兩側(cè)固定有滑塊，兩個滑塊螺紋套接在螺桿上，且兩個滑塊底部固定有同一個連接板，所述連接板底部外壁固定有伸縮桿，且伸縮桿的延長桿底端固定有固定板，固定板底部固定有吸附機(jī)構(gòu)，吸附機(jī)構(gòu)頂部外壁與固定板之間固定有多個等距離分布的壓縮彈簧，所述吸附機(jī)構(gòu)頂部兩側(cè)固定有L板，且兩個L板分別活動卡接在固定板兩側(cè)外壁上，其中一個L板一側(cè)固定有負(fù)壓機(jī)構(gòu)，負(fù)壓機(jī)構(gòu)與吸附機(jī)構(gòu)固定連接。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，電機(jī)的輸出軸穿過安裝口內(nèi)壁與螺桿固定連接。

進(jìn)一步的，所述吸附機(jī)構(gòu)包括真空箱，真空箱底部外壁開有多個等距離分布的氣孔，氣孔內(nèi)固定有吸盤。

進(jìn)一步的，所述負(fù)壓機(jī)構(gòu)包括固定架和氣泵，氣泵固定安裝在固定架上。

進(jìn)一步的，所述氣泵的進(jìn)氣端固定有連接管，連接管底端與真空箱之間固定連接有同一個波紋管。

進(jìn)一步的，所述基臺底部外壁四個拐角處均固定有支撐腿。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)向塊兩端外壁上還固定有插接柱，且插接柱上套接有緩沖彈簧，緩沖彈簧一端與導(dǎo)向塊固定連接，導(dǎo)向槽相對兩側(cè)內(nèi)壁開有與插接柱規(guī)格相適配的插接柱槽。

本發(fā)明的有益效果為：

1.通過伸縮桿的設(shè)置能夠帶動真空箱向下運動直至吸盤與硅片表面貼合，配合氣泵將真空箱內(nèi)空氣抽出形成的負(fù)壓狀態(tài)，能夠使得硅片被吸盤吸附固定，吸盤與硅片接觸后壓縮彈簧會被逐漸壓縮，避免吸盤與硅片初始接觸力度過大，使得擠壓作用力降低，提高對硅片的防護(hù)能力，L板能夠與固定板發(fā)生上下相對運動，起到導(dǎo)向限位作用。