[發明專利]一種晶棒自動裁切系統

有效

• 申請號: 202010042182.4
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111186039B
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 李茂欣;沈偉華
• 申請（專利權）人: 上海磐盟電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 謝緒寧;薛赟

1.一種晶棒自動裁切系統，所述晶棒自動裁切系統包括兩個旋轉結構(100)和一個可伸縮的裁切結構(200)，待裁切的晶棒(600)設置在兩個旋轉結構(100)之間，并可隨旋轉結構(100)一起旋轉，裁切結構(200)通過伸縮可與晶棒(600)接觸，其特征在于，所述晶棒自動裁切系統還包括拍打結構(300)、偏心度測量結構(400)和控制器(500)，所述偏心度測量結構(400)可測量待裁切的晶棒(600)的偏心度，并將測得的偏心度信息發送給控制器(500)，所述控制器(500)根據偏心度測量結構(400)發送來的偏心度信息，對應控制拍打結構(300)是否對晶棒(600)進行拍打；所述晶棒自動裁切系統包括箱體(700)和箱蓋(710)，兩個旋轉結構(100)和裁切結構(200)分別設置在箱體(700)內；所述拍打結構(300)包括至少一個第一伸縮氣缸(310)，所述第一伸縮氣缸(310)設置在箱體(700)內，所述控制器(500)控制第一伸縮氣缸(310)進行伸縮，所述第一伸縮氣缸(310)的伸縮端可與晶棒(600)接觸，并對晶棒(600)進行拍打；所述拍打結構(300)還包括一環形導軌(320)，所述環形導軌(320)設置在箱體(700)內，待裁切的晶棒(600)可穿過環形導軌(320)，所述環形導軌(320)上設有至少一個第一滑塊，所述控制器(500)可驅動第一滑塊在環形導軌(320)上移動，每個第一伸縮氣缸(310)對應固定在一個第一滑塊上；兩個旋轉結構(100)分別設置在箱體(700)的左側和右側，所述箱體(700)的前側和后側分別設有相對稱的第二滑軌(730)，所述第二滑軌(730)上設有第一連接塊(731)，所述控制器(500)控制第一連接塊(731)在第二滑軌(730)上滑動，所述第一連接塊(731)與環形導軌(320)固定連接；所述偏心度測量結構(400)包括若干個紅外線測距儀，這些紅外線測距儀分別設置在箱體(700)的左側和右側，所述控制器(500)分別連接各個紅外線測距儀。

2.根據權利要求1所述的一種晶棒自動裁切系統，其特征在于，所述箱體(700)的前側或后側上設有第一滑軌(720)，所述裁切結構(200)設置在第一滑軌(720)上，控制器(500)可驅動裁切結構(200)在第一滑軌(720)上滑動。

3.根據權利要求1所述的一種晶棒自動裁切系統，其特征在于，所述第一伸縮氣缸(310)的伸縮端與晶棒(600)的接觸面上設有一緩沖墊。

4.根據權利要求1所述的一種晶棒自動裁切系統，其特征在于，所述控制器(500)還與旋轉結構(100)控制連接。

5.根據權利要求1所述的一種晶棒自動裁切系統，其特征在于，所述箱體(700)的左側和右側分別設有相對稱的第三滑軌(740)，所述第三滑軌(740)上設有第二連接塊，所述控制器(500)控制第二連接塊在第三滑軌(740)上滑動，所述第二連接塊上設置一個紅外線測距儀。