[發明專利]基于自水平激光投線儀的光柵壓縮器全寬度調節方法

有效

• 申請號: 202010041580.4
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111211474B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 王乘;印定軍;劉星延;許毅;冷雨欣
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種基于自水平激光投線儀的光柵壓縮器全寬度調節方法，其特征在于，該方法包括第一階段折返鏡的調節和第二階段光柵的調節，具體步驟如下：

第一階段，折返鏡的調節：

第一步，調節自水平激光投線儀的高度，使自水平激光投線儀的水平方向平面激光投射到折返鏡的下平面反射鏡上,該激光先被向上反射至折返鏡的上平面反射鏡，又經該上平面反射鏡反射到另一高度水平面內，稱為折返光；

第二步，調節第二自水平激光投線儀的高度，使其發射的水平方向平面激光與折返光相接近；如果這兩種光相互交叉呈一定夾角，調節上平面反射鏡的左右旋轉維度，左右旋轉優化后，可確保兩平面反射鏡法線構成的平面與重力方向平行；如果這兩種光只能在某個距離上重合，但在其他距離上又分離開來，可調節上平面反射鏡的俯仰，俯仰優化后，可確保兩平面反射鏡互相垂直成直角；

第三步，將自水平激光投線儀的豎直方向平面激光在光學平臺上的投線與折返鏡入射光畫線相重合，水平面內旋轉折返鏡的角度使折返回的豎線激光與投線儀原激光相重合，確保折返鏡的張角方向正確；

第二階段，光柵的調節：

S1，基準光柵姿態調節：

第一步，將自水平激光投線儀的水平方向平面激光投射到基準光柵上，在光柵面上被反射，調節平面反射光柵的俯仰，使反射光與投線儀出射激光在1米以外距離處重合，以確保光柵面豎直；

第二步，將自水平激光投線儀的水平方向平面激光投射到基準光柵上，在光柵面上被衍射，保持光柵面豎直的同時，旋轉光柵面，使衍射光與投線儀出射激光在1米以外距離處重合，以確保光柵刻線豎直；

第三步，在光學平臺上畫一直線，作為待壓縮激光的預計入射方向，調節自水平激光投線儀的位置與角度，使該自水平激光投線儀的豎直方向平面激光在光學平臺上的投線與所述直線重合，這時，測量該激光被平面光柵反射到光學平臺上的投線與所述直線的夾角，其值的一半就是光柵入射角角度；

第四步，重復S1中第一步和第二步，優化水平旋轉后的基準光柵姿態；

S2，配對光柵姿態調節：

第一步，將自水平激光投線儀的水平方向平面激光投射到配對光柵上，在光柵面上被反射，優化平面反射光柵的俯仰，使反射光與投線儀原激光在較遠處重合，以確保光柵工作面豎直；

第二步，將自水平激光投線儀的水平方向平面激光投射到配對光柵上，在光柵面上被衍射，旋轉光柵工作面，使衍射光與投線儀原激光在較遠處重合，以確保光柵刻線豎直；

S3，基準光柵與配對光柵的平行調節：

以基準光柵為基準，調節配對光柵與基準的精確平行；

第一步，將自水平激光投線儀的豎直方向平面激光投射到基準光柵上，在光柵面上被反射，旋轉自水平激光投線儀，使反射光與投線儀出射激光在投線儀上方重合，以確保豎直方向平面激光與基準光柵相垂直；

第二步，將自水平激光投線儀的豎直方向平面激光投射到配對光柵上，在光柵面上被反射，旋轉配對光柵，使反射光與投線儀出射激光在投線儀上方重合，以確保豎直方向平面激光與配對光柵相垂直，此時基準光柵和配對光柵互相平行。