[發明專利]用于制造顯示設備的設備

在審

• 申請號: 202010041297.1
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111575651A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 張熙宣;尹相皓;林在夏;成箕運
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/20;C23C14/12;C23C14/08;C23C14/58;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉美華;劉燦強

1.一種用于制造顯示設備的設備，所述設備包括：

腔室，被構造為具有位于所述腔室中的顯示基底和掩模組件；

沉積源儲存器，連接到所述腔室，所述沉積源儲存器具有開口部分并且與所述腔室連通；

遮蔽器，位于所述沉積源儲存器的所述開口部分處，并且被構造為選擇性地遮蔽所述沉積源儲存器的所述開口部分；

沉積源，位于所述沉積源儲存器中以面對所述顯示基底；以及

分離驅動器，連接到所述沉積源儲存器，并且被構造為將所述沉積源儲存器的一部分與所述沉積源儲存器分離。

2.根據權利要求1所述的設備，所述設備還包括壓力調節器，所述壓力調節器連接到所述腔室和/或所述沉積源儲存器，并且被構造為調節所述腔室和/或所述沉積源儲存器中的壓力。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述遮蔽器包括：

遮蔽板，為線性地可移動，并且被構造為選擇性地遮蔽所述沉積源儲存器的所述開口部分；以及

線性驅動器，連接到所述遮蔽板并且被構造為使所述遮蔽板線性地移動。

4.根據權利要求3所述的設備，其中，所述遮蔽器還包括位于所述沉積源儲存器和/或所述遮蔽板上的電磁部分。

5.根據權利要求1所述的設備，其中，所述遮蔽器包括：

遮蔽板，被構造為選擇性地遮蔽所述沉積源儲存器的所述開口部分；以及

旋轉驅動器，連接到所述遮蔽板，并被構造為使所述遮蔽板旋轉。

6.根據權利要求5所述的設備，其中，所述遮蔽器還包括位于所述沉積源儲存器和/或所述遮蔽板上的電磁部分。

7.根據權利要求5所述的設備，其中，所述遮蔽板包括：

第一遮蔽板，連接到所述旋轉驅動器；以及

第二遮蔽板，面對所述第一遮蔽板，并連接到所述旋轉驅動器。

8.根據權利要求1所述的設備，其中，所述沉積源儲存器包括：

分隔壁，連接到所述腔室或位于所述腔室中以具有其中容納所述沉積源的空間；以及

分離器，被構造為選擇性地結合到所述分隔壁或所述腔室。

9.根據權利要求8所述的設備，其中，所述分離驅動器連接到所述分離器并被構造為使所述分離器移動。

10.根據權利要求8所述的設備，其中，所述沉積源儲存器還包括位于所述分隔壁上的加熱單元。

11.根據權利要求8所述的設備，其中，所述沉積源儲存器還包括位于所述分隔壁上的冷卻器。

12.根據權利要求8所述的設備，其中，所述沉積源儲存器還包括隔離器，所述隔離器位于所述分隔壁上并被構造為遮蔽其中所述遮蔽器滑動的空間。