[發明專利]雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置

在審

• 申請號: 202010040956.X
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111235531A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 郭錦龍;程云立;馬華;付久龍;武金魁
• 申請（專利權）人: 長鈦工程技術研究院（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 北京知匯林知識產權代理事務所(普通合伙) 11794
• 代理人: 楊華

1.一種雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，包括多功能室、電子束蒸發室、真空抽氣系統及控制系統，所述多功能室與所述電子束蒸發室連通設置，兩室之間通過插板閥隔離；所述真空抽氣系統對所述多功能室與所述電子束蒸發室進行抽真空，所述多功能室、電子束蒸發室、真空抽氣系統與控制系統電性連接。

2.根據權利要求1所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述多功能室包括傳動裝置、供氣裝置、加熱裝置、隔熱裝置、多弧離子鍍裝置一及放氣閥一。

3.根據權利要求2所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述傳動裝置包括傳動軸、轉動密封裝置及旋轉工件桿，所述傳動裝置穿過所述多功能室側壁處設置有轉動密封裝置，所述旋轉工件桿用于固定工件。

4.根據權利要求3所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，還包括電機，所述電機設置在所述多功能室的外部，所述電機致動所述旋轉工件桿沿所述水平軸線進行軸向運動及自轉。

5.根據權利要求4所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述隔熱裝置包括齒輪組，軸承組、支撐件及移動擋板；所述移動擋板設置在支撐件上，所述齒輪組、軸承組致動所述移動擋板進行翻轉。

6.根據權利要求5所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述電子束蒸發室包括電子槍裝置、坩堝裝置、多弧離子鍍裝置二及放氣閥二。

7.根據權利要求6所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述坩堝裝置包括銅坩堝、非金屬坩堝內襯及坩堝冷卻水管。

8.根據權利要求7所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述插板閥打開后能允許所述旋轉工件桿及工件在所述多功能室與電子束蒸發室之間進行移動。

9.根據權利要求8所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述真空抽氣系統設置為一套。

10.根據權利要求9所述的雙真空室大功率電子束蒸發連續鍍膜裝置，其特征在于，所述真空抽氣系統包括高真空油擴散泵，旋片式真空泵，羅茨泵。