[發(fā)明專利]一種大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010040185.4
• 申請日: 2020-01-15
• 公開（公告）號: CN111157112A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒俊;王昌輝;張明;樂孜純
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學
• 主分類號: G01J3/12
• 分類號: G01J3/12;G01J3/28
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

1.一種大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀，其特征在于，所述微型芯片光譜儀包括光譜粗分割單元A、可調(diào)諧環(huán)形濾波器B、采樣光譜記錄與還原單元C以及參考單元D，所述粗分割單元A的上輸出端和所述可調(diào)諧環(huán)形濾波器B的輸入端相連接，所述粗分割單元A的下輸出端和所述參考單元D連接，所述可調(diào)諧環(huán)形濾波器B的輸出端和采樣光譜記錄與所述還原單元C通過一個1×2的分束器相連接。

2.如權(quán)利要求1所述的大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀，其特征在于，所述光譜粗分割單元A包括一個1×M的光開關(guān)、一個M×2的波分復用器、一個2×2的3dB耦合器，且1×M的光開關(guān)的M個輸出端口分別連接于M×2的波分復用器的M個輸入端口，M×2的波分復用器的兩個輸出端口分別連接于2×2的3dB耦合器的兩個輸入端口。

3.如權(quán)利要求1或2所述的大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀，其特征在于，所述可調(diào)諧環(huán)形濾波器B的諧振波長位置由波導上方的加熱器來調(diào)諧，可調(diào)諧環(huán)形濾波器B的調(diào)諧區(qū)域包含一個環(huán)或者是多個級聯(lián)環(huán)。

4.如權(quán)利要求1或2所述的大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀，其特征在于，所述采樣光譜記錄與還原單元C包含一個1×N功分器、N個1×1MZI、N個探測器，其中相鄰MZI之間具有固定長度差ΔL。N個探測器也可以是一個能接收所有MZI陣列輸出光的相機。

5.如權(quán)利要求1或2所述的大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀，其特征在于，所述參考單元D包含一個探測器。

6.如權(quán)利要求1或2所述的大帶寬且分辨率可調(diào)的微型芯片光譜儀，其特征在于，分辨率最小值Δλ_{R_min}由可調(diào)諧環(huán)形濾波器B中的微環(huán)的3dB帶寬值Δλ_3dB決定，實際使用的分辨率值Δλ_R由對加熱器的調(diào)諧步長確定，介于Δλ_3dB和微環(huán)的自由光譜范圍Δλ_FSR之間，即Δλ_3dB≤Δλ_RΔλ_FSR。