[發明專利]可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝

有效

• 申請號: 202010039173.X
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111185433B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 高長有;劉敏;陳志敏;張頊
• 申請（專利權）人: 江蘇京晶光電科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;H01L21/02;H01L33/00;F26B11/02;F26B3/30
• 代理公司: 南京行高知識產權代理有限公司 32404
• 代理人: 肖念

1.一種可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：將已單面拋光的藍寶石晶片裝入制程晶周盒，將裝有晶片的制程晶周盒置于純水槽中；

步驟二：將步驟一處理完的藍寶石晶片放入第一堿性清洗劑中進行清洗，所述第一堿性清洗劑的活性成份包括有機堿和復合活性劑；

步驟三：將步驟二處理完的藍寶石晶片放入第一超純水中進行超聲漂洗；

步驟四：將步驟三處理完的藍寶石晶片放入第二清洗劑溶液中進行清洗，所述第二清洗劑的活性成份包括分散劑、滲透劑和螯合劑；

步驟五：將步驟四處理完的藍寶石晶片放入第二超純水中進行超聲漂洗；

步驟六：將步驟五處理完的藍寶石晶片放入第三清洗劑溶液中進行清洗，所述第三清洗劑的活性成份為活性劑、螯合劑和環保型有機溶劑；

步驟七：將步驟六處理完的藍寶石晶片放入第三超純水中進行超聲漂洗；

步驟八：對步驟七處理完的藍寶石晶片表面進行刷洗；

步驟九：對步驟八處理完的藍寶石晶片表面使用乳化劑噴淋，所述乳化劑的活性成份包括陰離子表面活性劑和非離子表面活性劑；

步驟十：對步驟九處理完的藍寶石晶片表面使用有機溶劑再次噴淋；

步驟十一：對步驟十處理完的藍寶石晶片使用旋干機干燥，旋干完成后，將晶片在旋干倉內靜置一段時間，再使用烤燈烤干晶片表面；

步驟十二：將步驟十一處理完的藍寶石晶片放入成品晶周盒中，密封保存。

2.根據權利要求1所述的可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于：所述步驟二中的第一堿性清洗劑的溶質濃度為10-20wt％，溫度為55-75℃，晶片每上下拋動十次后旋轉90°再繼續拋動，每次清洗時間為15-25min，共進行四次；

所述有機堿在堿性清洗劑中所占體積分數為10-15％，所述復合活性劑在堿性清洗劑中所占體積分數為3-5％；

所述有機堿為烷基胺、甲醇鈉、丁基鋰中的至少一種，所述復合活性劑為聚氧乙基烷基苯基醚、聚氧乙基烷基醚、聚氧乙基脂肪酸醚酯中的至少一種。

3.根據權利要求1所述的可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于：所述步驟三中的第一超純水超聲漂洗的漂洗時間為15-25min，超聲強度為35-45KHz，純水溫度為20-30℃。

4.根據權利要求1所述的可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于：所述步驟四中的第二清洗劑的溶質濃度為10-20wt％，溫度為55-75℃，晶片每上下拋動十次后旋轉90°再繼續拋動，每次清洗時間為15-25min，共進行四次；

所述分散劑在第二清洗劑中所占體積分數為6-13％，所述滲透劑在第二清洗劑中所占體積分數為10-25％，所述螯合劑在第二清洗劑中所占體積分數為8-10％；

所述分散劑為甘油、聚氧丙烯和己烯基雙硬脂酰胺中的至少一種，所述滲透劑為脂肪醇聚氧乙烯醚，所述螯合劑為羥基羧酸、乙二胺四乙酸和氨基羧酸中的至少一種。

5.根據權利要求1所述的可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于：所述步驟五中的第二超純水超聲漂洗的漂洗時間為15-25min，超聲強度為25-35KHz，純水溫度為20-30℃。

6.根據權利要求1所述的可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于：所述步驟六中的第三清洗劑溶質濃度為10-20wt％，溫度為55-75℃，晶片每上下拋動十次后旋轉90°再繼續拋動，每次清洗時間為15-25min，共進行四次；

所述活性劑在第三清洗劑中所占體積分數為3-5％，所述螯合劑在第三清洗劑中所占體積分數為8-10％，所述環保型有機溶劑在第三清洗劑中所占體積分數為10-15％；

所述活性劑為油酸鈉、烷基胺和磺酸鹽中的至少一種，所述螯合劑為羥基磷酸、多磷酸鹽和氨基羧酸中的至少一種，所述環保型有機溶劑為苯乙烯、全氯乙烯和乙二醇二醋酸酯中的至少一種。

7.根據權利要求1所述的可開盒即用的藍寶石晶片清洗工藝，其特征在于：所述步驟七中的第三超純水超聲漂洗的漂洗時間為15-25min，超聲強度為15-25KHz，純水溫度為20-30℃。