[發明專利]顯示面板及其制備方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 202010039138.8
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111223906B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 張偉;李慧;李存智;吳欣慰;孫世成;郭鐘旭
• 申請（專利權）人: 重慶京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 張筱寧;宋海斌

1.一種顯示面板的制備方法，所述顯示面板(1)包括顯示區(1a)和引腳區(1b)，其特征在于，所述制備方法包括步驟：

在基板上沉積第一導電層(100)；

在所述第一導電層(100)上涂覆第一光刻膠層(200)，對位于所述顯示區(1a)的所述第一光刻膠層(200)圖形化并保留位于所述引腳區(1b)的第一光刻膠層(200)；

對所述第一導電層(100)進行刻蝕后，去除殘余的第一光刻膠層(200)；

在所述第一導電層(100)遠離所述基板的一側設置絕緣層(300)，對所述絕緣層(300)圖形化；

在圖形化的所述絕緣層(300)和所述第一導電層(100)遠離所述基板的一側沉積第二導電層(400)，所述第二導電層(400)覆蓋所述顯示區(1a)和所述引腳區(1b)；

在所述第二導電層(400)遠離基板的一側涂覆第二光刻膠層(500)，對位于所述顯示區(1a)所述第二光刻膠層(500)進行圖形化并去除位于所述引腳區(1b)的第二光刻膠層(500)；

對所述第二導電層(400)進行刻蝕，露出位于所述引腳區(1b)的圖形化的所述絕緣層(300)；

以位于所述引腳區(1b)的圖形化的所述絕緣層(300)為掩膜，對位于所述引腳區(1b)的第一導電層(100)進行干刻。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述對所述絕緣層(300)圖形化，包括步驟：

對位于所述顯示區(1a)的所述絕緣層(300)和位于所述引腳區(1b)的所述絕緣層(300)中的至少一個采用半色調掩膜圖形化，以使位于所述引腳區(1b)的所述絕緣層(300)的厚度與對位于所述引腳區(1b)的所述第一導電層(100)進行干刻的刻程相適應。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述對所述第二導電層(400)進行刻蝕，包括步驟：

采用濕刻對所述第二導電層(400)進行刻蝕。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述對位于所述引腳區(1b)的第一導電層(100)進行干刻之后，還包括步驟：

去除位于所述引腳區(1b)的第一導電層(100)上殘余的所述絕緣層(300)。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述去除位于所述引腳區(1b)的第一導電層(100)上殘余的所述絕緣層(300)，包括步驟：

采用灰化去除位于所述引腳區(1b)的第一導電層(100)上殘余的所述絕緣層(300)。

6.一種顯示面板(1)，其特征在于，包括：采用如上述權利要求1-5中任一項所述的制備方法制備得到。

7.根據權利要求6所述的顯示面板(1)，其特征在于，所述第一導電層(100)為源漏極層，所述第二導電層(400)為陽極層。

8.根據權利要求7所述的顯示面板(1)，其特征在于，所述源漏極層包括疊層設置的第一鈦金屬層、鋁金屬層和第二鈦金屬層。

9.一種顯示裝置，其特征在于，包括：如上述權利要求6-8中任一項所述的顯示面板(1)。