[發明專利]一種尾氣處理裝置及尾氣處理系統

在審

• 申請號: 202010036520.3
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111097278A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 曾慶騰
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/96;B01D53/72
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明公開了一種尾氣處理裝置及尾氣處理系統，屬于尾氣處理技術領域。尾氣處理裝置包括進氣管、循環管、排氣管和尾氣處理罐。進氣管和循環管連接，尾氣處理罐內裝有反應液，尾氣處理罐包括相互隔離的第一處理區和第二處理區，第一處理區和第二處理區均位于反應液液面以下；循環管的一端與第一處理區連通，另一端與第二處理區連通，反應液能夠通過循環管從第二處理區回流至第一處理區，排氣管連通于尾氣處理罐的頂部。尾氣處理系統包括沿尾氣流動方向依次首尾相連的多個尾氣處理裝置，首端的進氣管與尾氣排放裝置的尾氣排放口連接，尾端的排氣管與洗滌塔的進氣口連接，提高了砷烷的吸收率，實現了對尾氣的預處理，減輕了后續尾氣處理壓力。

技術領域

本發明涉及尾氣處理技術領域，尤其涉及一種尾氣處理裝置及尾氣處理系統。

背景技術

砷烷是一種劇毒、可燃氣體，與空氣混合可形成可燃混合氣。對于含有砷烷的尾氣，需對尾氣中的砷烷進行吸收，然后排放到大氣中，以防止污染環境危害人體健康。砷烷主要產生于半導體工業生產中廠爐管、離子植入制程、MOCVD(Metal-organic ChemicalVapor Deposition，金屬有機化合物化學氣相沉淀)制程的尾氣中，以及砷烷氣體生產過程中產生的尾氣。

現有技術中通常直接將含砷烷尾氣自下而上排入噴淋塔中，噴淋塔自上而下噴淋反應液以吸收砷烷，經處理后的尾氣排放到外界大氣中。此方法尾氣與反應液接觸傳質阻力大，砷烷吸收率低，要達到預期的處理效果，設備投資和運行費用都比較高。

發明內容

本發明的目的在于提出一種尾氣處理裝置及尾氣處理系統，能夠提高砷烷的吸收率，實現對尾氣的預處理，以減輕后續尾氣處理壓力。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種尾氣處理裝置，包括進氣管、循環管、排氣管和尾氣處理罐，所述進氣管用于通入尾氣，所述進氣管和所述循環管連接，所述尾氣處理罐內裝有反應液，所述尾氣處理罐包括相互隔離的第一處理區和第二處理區，所述第一處理區和所述第二處理區均位于所述反應液液面以下，所述循環管的一端與所述第一處理區連通，另一端與所述第二處理區連通，所述反應液能夠通過所述循環管從所述第二處理區回流至所述第一處理區，所述排氣管連通于所述尾氣處理罐的頂部。

作為一種尾氣處理裝置的優選技術方案，所述第一處理區和所述第二處理區內均設置有填料，所述循環管的兩端均位于所述填料的下方，所述填料用于增加所述尾氣與所述反應液的接觸面積。

作為一種尾氣處理裝置的優選技術方案，所述尾氣處理裝置還包括設置在所述循環管上的射流器，所述進氣管和所述射流器連接。

作為一種尾氣處理裝置的優選技術方案，所述尾氣處理裝置還包括設置在所述循環管上的換熱器，所述換熱器位于所述第二處理區和所述射流器之間。

作為一種尾氣處理裝置的優選技術方案，所述尾氣處理裝置還包括第一循環泵，所述第一循環泵設置在所述循環管上。

作為一種尾氣處理裝置的優選技術方案，所述尾氣處理裝置還包括液位測量組件，所述液位測量組件用于測量所述尾氣處理罐內所述反應液的液位高度。

為達上述目的，本發明還提供了一種尾氣處理系統，包括沿所述尾氣流動方向依次首尾相連的多個如上所述的尾氣處理裝置，前一個所述尾氣處理裝置的排氣管作為后一個所述尾氣處理裝置的進氣管，首端的所述尾氣處理裝置的進氣管與尾氣排放裝置的尾氣排放口連接，尾端的所述尾氣處理裝置的排氣管與洗滌塔的進氣口連接。

作為一種尾氣處理系統的優選技術方案，所述尾氣處理系統還包括反應液補充組件，所述反應液補充組件與所述尾氣處理罐連接，用于向所述尾氣處理罐補充所述反應液。

作為一種尾氣處理系統的優選技術方案，所述尾氣處理系統還包括排液組件，所述排液組件與所述循環管連接，所述排液組件用于向外排放所述反應液。