[發明專利]一種基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統

在審

• 申請號: 202010035756.5
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111220270A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 盛秀堂;其他發明人請求不公開姓名
• 申請（專利權）人: 安徽艾華測控技術有限公司
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/02;G01J3/06
• 代理公司: 北京開林佰興專利代理事務所(普通合伙) 11692
• 代理人: 劉帥帥

1.一種基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，包括進光孔、濾光光路、出光孔、光電探測器和光譜數據處理模塊，所述濾光光路包括準直鏡、掃描振鏡和聚焦鏡，所述進光孔、準直鏡、掃描振鏡、聚焦鏡、出光孔和光電探測器從左到右依次設置，所述光電探測器的信號輸出端與所述光譜數據處理模塊的第一信號輸入端連接，所述掃描振鏡的反饋控制信號輸出端與所述光譜數據處理模塊的第二信號輸入端連接，其中：

所述進光孔為待測信號光入口，所述準直鏡用于將入射光準直為平行光，所述掃描振鏡用于掃描濾出窄帶光譜，所述聚焦鏡用于聚焦透射光線至所述出光孔，所述光電探測器用于將待測光信號轉化為電信號，傳遞給所述光譜數據處理模塊，所述光譜數據處理模塊內置模型算法，計算輸出光譜分析結果。

2.根據權利要求1所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述掃描振鏡包括濾光片和振鏡驅動裝置，所述濾光片安裝于所述振鏡驅動裝置上，振鏡驅動裝置用于調節所述濾光片的角度。

3.根據權利要求2所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述振鏡驅動裝置包括振鏡馬達、壓電陶瓷或高精度轉臺。

4.根據權利要求2所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述濾光片包括衍射晶體、干涉濾光片、光柵、線性濾光片或陷波濾光片。

5.根據權利要求2所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述濾光片可工作在透射模式或反射模式。

6.根據權利要求2所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述濾光片包括工作在X射線波段、紫外波段、可見光波段、紅外波段、太赫茲波段或微波波段的濾光元件。

7.根據權利要求1-6任意一項所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述光譜數據處理模塊包括上位機。

8.根據權利要求1-6任意一項所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述光電探測器包括雪崩光電二極管(APD)、光電倍增管(PMT)或光敏二極管。

9.根據權利要求1-6任意一項所述的基于掃描振鏡的窄帶光譜分析系統，其特征在于，所述進光孔和出光孔包括狹縫、通孔、光纖或微透鏡。