[發明專利]一種非旋轉式薄膜厚度及折射率測量方法有效
| 申請號： | 202010034057.9 | 申請日： | 2020-01-13 |
| 公開（公告）號： | CN111207678B | 公開（公告）日： | 2021-06-15 |
| 發明（設計）人： | 雷兵;高超;劉建倉;雷雨 | 申請（專利權）人： | 中國人民解放軍國防科技大學 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41 |
| 代理公司： | 國防科技大學專利服務中心 43202 | 代理人： | 王文惠 |
| 地址： | 410073 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 薄膜 厚度 折射率 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種非旋轉式薄膜厚度及折射率測量方法，其特征在于，包括以下步驟：
第一步，將起偏器的方位角設置為45°，計算入射光P、S分量的振幅比與相位差；
入射光P分量與S分量的振幅分別為AiP、AiS，P分量與S分量振幅比為τi，τi的反正切值為Ψi，入射光P分量與S分量相位分別為δiP、δiS，P分量與S分量的相位差為δi，將起偏角設置為45°，計算出入射光的振幅比與相位差分別為：
δi＝δiP-δiS＝0 (式2)
第二步，采集光強圖像I，計算反射光的振幅比與相位差；
采集光強圖像I并對其進行圖像處理，得到圖像亮區中心線的方位角和圖像亮暗區域對比度C，對比度C的定義為：
反射光P分量與S分量的振幅分別為ArP、ArS，其P分量與S分量振幅比為τr，τr的反正切值為Ψr，反射光P分量與S分量相位分別為δrP、δrS，其P分量與S分量的相位差為δr，反射光的振幅比與相位差由圖像處理所得的參量表示為：
第三步，計算橢偏角參數(Ψ,Δ)；
橢偏角參數(Ψ,Δ)的計算方式由(式6)、(式7)給出：
Δ＝δr-δi＝δr (式7)
第四步，反解薄膜厚度與折射率；
利用第三步所得的橢偏角參數(Ψ,Δ)反解得到薄膜的厚度d與薄膜折射率n。
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