[發明專利]一種利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置

有效

• 申請號: 202010031522.3
• 申請日: 2020-01-13
• 公開（公告）號: CN111194133B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 李海龍;陸歡歡;王茂琰;蒙林;王彬;殷勇;朱逸政
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H05H3/00
• 分類號: H05H3/00
• 代理公司: 成都正象知識產權代理有限公司 51252
• 代理人: 李姍姍

1.一種利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：包括首尾順次連通的電離腔（1）、加速腔（2）、電子槍中和通道（3）、偏轉腔（4），所述電離腔（1）、所述加速腔（2）、所述電子槍中和通道（3）、偏轉腔（4）均為兩端開口的平置圓筒狀，所述裝置還包括與所述電離腔（1）管道相通的真空系統以及為所述電離腔（1）、所述加速腔（2）、所述電子槍中和通道（3）和所述偏轉腔（4）提供電能的電力系統；

所述電離腔（1）中設有電離組件和輻射組件，所述加速腔（2）設有加速組件，所述電子槍中和通道（3）的側邊連通設置有電子槍本體（301），所述偏轉腔（4）外側壁設有偏轉組件，所述加速腔（2）的尾端與所述電子槍中和通道（3）的首端之間、所述電子槍中和通道（3）的尾端與所述偏轉腔（4）的首端之間分別設有絕緣環（302）。

2.如權利要求1所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述電離組件包括同心設置于所述電離腔（1）中的網狀放電電極（103），所述網狀放電電極（103）的外側面與所述電離腔（1）的內壁之間有序設置若干將二者相連的第一絕緣柱（105），所述網狀放電電極（103）所圍空間的上部設有可受控釋放塵埃的塵埃容器（106），所述電離腔（1）首部端口設有觀察窗（108）。

3.如權利要求2所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述塵埃容器（106）為豎置圓筒狀，所述塵埃容器（106）的底面為網孔結構，所述塵埃容器（106）的頂部或側壁設有可受控啟閉的振動機構。

4.如權利要求2所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述觀察窗（108）通過可拆卸式緊固旋鈕（109）固定在所述電離腔（1）的首部端口位置，所述觀察窗（108）與所述電離腔（1）的首部端口之間設有密封墊片（107）。

5.如權利要求1所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述真空系統包括氣罐（502），所述氣罐（502）的輸出端通過進氣管道與所述電離腔（1）的側壁上開設的進氣孔（101）連通，所述進氣管道上設有控制閥（501）；所述真空系統還包括真空泵（504），所述真空泵（504）的輸入端通過出氣管道與所述電離腔（1）側壁上開設的出氣孔（102）連通，所述出氣管道上設有控制閥（501）。

6.如權利要求2所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述加速組件包括設置于所述加速腔（2）首部端口與所述電離腔（1）尾部端口之間的網狀負電極（205）和設置于所述加速腔（2）尾部端口與所述電子槍中和通道（3）首部端口之間的網狀正電極（201），所述加速腔（2）外側壁同心設置有磁聚焦線圈（204）；所述磁聚焦線圈（204）通過若干在加速腔（2）外側壁有序分布的第二絕緣柱（203）與所述加速腔（2）連接，在所述加速腔（2）內形成恒定磁場。

7.如權利要求1所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述偏轉組件包括同心設置于所述偏轉腔（4）外側壁的偏轉電極（401），所述偏轉電極（401）通過若干在所述偏轉腔（4）外側壁有序分布的第四絕緣柱（402）與偏轉腔（4）連接，在所述偏轉腔（4）內形成偏轉電場。

8.如權利要求1所述的利用紫外輻射和電子槍產生中性塵埃粒子流的裝置，其特征在于：所述電子槍中和通道（3）和所述加速腔（2）的內徑小于所述電離腔（1）的內徑。