[發(fā)明專利]具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵

有效

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• 申請日: 2020-01-13
• 公開（公告）號: CN113107817B
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莫皓然;高中偉;陳世昌;楊啟章;韓永隆;黃啟峰;郭俊毅;古旸
• 申請（專利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/02
• 分類號: F04B43/02;F04B43/04;F04B53/10
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

1.一種具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵，其特征在于，包含：

一匯流板，具有一匯流板第一表面、一匯流板第二表面、一匯流出口及一泄流出口，該匯流板第二表面與該匯流板第一表面為相對設(shè)置的二表面，且該匯流出口及該泄流出口皆貫穿該匯流板第一表面及該匯流板第二表面，該匯流板第二表面更設(shè)有至少一凹卡榫及一泄流通道，該凹卡榫對稱設(shè)立于該匯流板第二表面上，該泄流通道與該匯流出口相連通，且該泄流通道與該泄流出口相連通；該泄流出口在該匯流板第一表面的截面積與該泄流出口在該匯流板第二表面的截面積不同；

一閥片，具有一第一接觸面及一第二接觸面，該第一接觸面與該匯流板的該匯流板第二表面為一相接面，該第二接觸面與該第一接觸面相對設(shè)置，且該第一接觸面設(shè)有一閥孔、至少一卡榫通孔及一泄流凹部片，該閥孔與該至少一卡榫通孔皆貫穿該第一接觸面及該第二接觸面，該至少一卡榫通孔與該匯流板的該至少一凹卡榫對應(yīng)設(shè)立；

一腔板，具有一腔板第一表面及一腔板第二表面，該腔板第一表面與該閥片的該第二接觸面為另一相接面，該腔板第二表面與該腔板第一表面相對設(shè)置，且該腔板第一表面設(shè)有一凹孔、一流體判斷孔、至少一流體通孔及至少一凸卡榫，該凹孔并未貫穿該腔板第一表面及該腔板第二表面，該流體判斷孔及該至少一流體通孔皆貫穿該腔板第一表面及該腔板第二表面，該至少一凸卡榫與該匯流板的該至少一凹卡榫及該閥片的該至少一卡榫通孔對應(yīng)設(shè)立，該腔板第二表面具有一承置框槽；以及

一微型泵，該微型泵定位于該腔板的該承置框槽中，借以輸送流體經(jīng)該腔板的該至少一流體通孔及該閥片的該閥孔至該匯流板的該匯流出口；

其中，該微型泵運作時，流體先被傳輸至該腔板的該至少一流體通孔及該腔板的該流體判斷孔，并推動該閥片，同時，該腔板的該流體判斷孔推動該流體判斷孔上方的該閥片的該泄流凹部片，使得該泄流凹部片堵住該匯流板的該泄流出口，該腔板的該至少一流體通孔的流體，因流體壓力推動該腔板的該凹孔上方的該閥片，使得流體可通過該閥片的該閥孔，借由該匯流板的該匯流出口流出。

2.如權(quán)利要求1所述的具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵，其特征在于，該微型泵未運作時，流體先被回流至該匯流板的該匯流出口下，該流體壓力推動該匯流出口下方的該閥片，因該閥孔被該腔板的該凹孔外環(huán)堵住，使得流體往該泄流通道流，并將該泄流出口下方的該閥片的該泄流凹部片向下擠壓，使得流體由該泄流通道往該泄流出口流出，完成一泄壓作業(yè)。

3.如權(quán)利要求2所述的具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵，其特征在于，該微型泵包含：

一進流板，具有至少一進流孔、至少一匯流排槽及一匯流腔室，其中該進流孔供導入流體，并貫通該匯流排槽，該匯流排槽與該匯流腔室相連通，借此，該進流孔所導入的流體得以通過該匯流排槽后匯流至該匯流腔室中；

一共振片，接合于該進流板上，具有一中空孔、一可動部及一固定部，該中空孔位于該共振片中心處，并與該進流板的該匯流腔室的位置相對應(yīng)，該可動部設(shè)置于該中空孔周圍，而該固定部設(shè)置于該共振片的外周緣部分并固定接合在該進流板上；以及

一壓電致動器，接合于該共振片上；

其中，該共振片與該壓電致動器之間形成一腔室空間，借此，當該壓電致動器受驅(qū)動時，該壓電致動器與該共振片的該可動部產(chǎn)生共振，流體由該進流板的該進流孔導入，通過該匯流排槽后匯集至該匯流腔室中，接著再流經(jīng)該共振片的該中空孔，達成流體的傳輸。

4.如權(quán)利要求3所述的具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵，其特征在于，該壓電致動器包含：

一懸浮板，為一正方形形態(tài)，可彎曲振動；

一外框，環(huán)繞設(shè)置于該懸浮板之外側(cè)；

至少一支架，連接于該懸浮板與該外框之間，用以提供該懸浮板彈性支撐的支撐力；以及

一壓電元件，具有一邊長，該邊長小于或等于該懸浮板的一邊長，且該壓電元件貼附于該懸浮板的一表面上，用以被施加電壓以驅(qū)動該懸浮板彎曲振動。

5.如權(quán)利要求4所述的具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵，其特征在于，該懸浮板具有一凸部，設(shè)置于該懸浮板貼附該壓電元件的相對面。

6.如權(quán)利要求4所述的具消音泄氣結(jié)構(gòu)的微型泵，其特征在于，該懸浮板具有一凸部，是以蝕刻制程一體成型制出，為突出于該懸浮板貼附該壓電元件的相對面上的一凸狀結(jié)構(gòu)。