[發(fā)明專利]有機電致發(fā)光裝置及其制造方法、電子設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010030447.9
• 申請日: 2020-01-13
• 公開（公告）號: CN111435711A
• 公開（公告）日: 2020-07-21
• 發(fā)明（設計）人: 赤川卓;野澤陵一;深川剛史
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L27/32;G09G3/3208
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;黃綸偉

本發(fā)明提供有機電致發(fā)光裝置及其制造方法、電子設備，能夠抑制品質可靠性的降低，并且能夠實現(xiàn)制造工藝的簡化。有機電致發(fā)光裝置具有：基板；有機電致發(fā)光元件，其配置在所述基板上；保護部，其對所述有機電致發(fā)光元件進行保護；以及樹脂部，其以樹脂材料為主體，所述保護部具有：第1層，其以含氮的硅類無機材料為主體；第2層，其以氧化硅或氧化鋁為主體；以及第3層，其以含氮的硅類無機材料為主體，所述樹脂部配置在所述第2層的側面上。

技術領域

本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光裝置、有機電致發(fā)光裝置的制造方法以及電子設備。

背景技術

公知有具有OLED(有機發(fā)光二極管)的有機EL(電致發(fā)光)裝置。有機EL裝置例如被用作顯示圖像的有機EL顯示器。

在專利文獻1中公開了具有有機發(fā)光層的有機器件。該有機器件具有有機發(fā)光層和配置在有機發(fā)光層上的第1密封層。第1密封層由氮化硅膜和氧化鋁膜的層疊體構成。另外，由于氧化鋁膜相對于水的耐性比氮化硅膜低，因此為了切斷水向氧化鋁膜的進入，第1密封層被由氮化硅膜構成的第2密封層覆蓋。

專利文獻1：日本特開2018-73760號公報

在第1密封層和第2密封層的形成過程中使用光刻法。因此，為了形成第1密封層和第2密封層，必須形成抗蝕劑圖案并在進行了蝕刻后反復進行多次剝離抗蝕劑圖案的處理。另外，為了高精細地形成由氮化硅膜構成的第2密封層，優(yōu)選使用光致抗蝕劑法，而難以用其他方法代替。因此，若第2密封層由氮化硅膜構成，則存在第1密封層和第2密封層的成膜工藝變得復雜這樣的問題。

發(fā)明內容

根據(jù)本發(fā)明的一個方式的有機電致發(fā)光裝置，該有機電致發(fā)光裝置具有：基板；有機電致發(fā)光元件，其配置在所述基板上；保護部，其對所述有機電致發(fā)光元件進行保護；以及樹脂部，其以樹脂材料為主體，所述保護部具有：第1層，其以含氮的硅類無機材料為主體，在從所述有機電致發(fā)光元件觀察時，該第1層配置于與所述基板相反的一側；第2層，其以氧化硅或氧化鋁為主體，在從所述第1層觀察時，該第2層配置于與所述有機電致發(fā)光元件相反的一側；以及第3層，其以含氮的硅類無機材料為主體，在從所述第2層觀察時，該第3層配置于與所述第1層相反的一側，所述樹脂部配置在所述第2層的側面上。

根據(jù)本發(fā)明的一個方式的有機電致發(fā)光裝置的制造方法，該有機電致發(fā)光裝置的制造方法包含如下工序：在基板上形成有機電致發(fā)光元件；形成對所述有機電致發(fā)光元件進行保護的保護部；以及形成以樹脂材料為主體的樹脂部，在形成所述保護部的工序中，在所述有機電致發(fā)光元件上形成以含氮的硅類無機材料為主體的第1層，在所述第1層上形成以氧化硅或氧化鋁為主體的第2層，在所述第2層上形成以含氮的硅類無機材料為主體的第3層，在形成所述樹脂部的工序中，在所述第2層的側面上以樹脂材料為主體而形成所述樹脂部。

附圖說明

圖1是示出第1實施方式中的有機EL裝置的立體圖。

圖2是示出第1實施方式中的顯示面板的概略俯視圖。

圖3是示出第1實施方式中的顯示面板的電結構的框圖。

圖4是第1實施方式中的子像素的等效電路圖。

圖5是第1實施方式中的顯示面板的局部剖視圖。

圖6是第1實施方式中的顯示面板的局部剖視圖。

圖7是第1實施方式中的顯示面板的俯視圖。

圖8是示出第1實施方式中的顯示面板的制造方法的流程圖。

圖9是用于說明第1實施方式中的基板形成工序和發(fā)光部形成工序的剖視圖。

圖10是用于說明第1實施方式中的保護部形成工序的剖視圖。

圖11是用于說明第1實施方式中的保護部形成工序的剖視圖。