[發(fā)明專利]一種抗高過載絕對式諧振微壓傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010029370.3
• 申請日: 2020-01-13
• 公開（公告）號: CN111141447B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設計）人: 程榮俊;宋鵬程;張何洋;黃強先;張連生
• 申請（專利權）人: 合肥工業(yè)大學
• 主分類號: G01L19/06
• 分類號: G01L19/06;G01L7/10
• 代理公司: 合肥市道爾知識產權代理有限公司 34169
• 代理人: 司賀華

1.一種抗高過載絕對式諧振微壓傳感器，其特征在于：包括上端蓋(1)、緊固圓環(huán)(2)、第一波紋膜片(3)、中間殼體(4)、第二波紋膜片(5)、下端蓋(6)、微壓傳感器芯片(7)、密封管殼(8)、開關導向桿(9)、氣體通道(10)、平衡彈簧(11)、吸氣劑(12)；

所述上端蓋(1)包括進氣孔(101)、上端蓋腔室(102)及上端蓋氣體通道(103)；

所述中間殼體(4)包括中間殼體第一腔室(401)、中間殼體第二腔室(404)、中間殼體氣體通道(403)及導向孔(402)；

所述下端蓋(6)包括下端蓋第一腔室(604)、下端蓋第二腔室(602)、下端蓋進氣通道(605)、下端蓋出氣通道(601)及圓錐孔(603)；

所述上端蓋(1)與中間殼體(4)的上端之間連接第一波紋膜片(3)，所述第一波紋膜片(3)將上端蓋腔室(102)與中間殼體第一腔室(401)隔開；所述下端蓋(6)與中間殼體(4)的下端之間連接第二波紋膜片(5)，所述第二波紋膜片(5)將下端蓋第一腔室(604)與中間殼體第二腔室(404)隔開；所述中間殼體第一腔室(401)、中間殼體第二腔室(404)之間通過導向孔(402)連通，所述下端蓋第一腔室(604)與下端蓋第二腔室(602)之間通過圓錐孔(603)連通；

所述上端蓋氣體通道(103)、中間殼體氣體通道(403)、下端蓋進氣通道(605)依次連通共同構成連接上端蓋腔室(102)與下端蓋第二腔室(602)的氣體通道(10)，所述進氣孔(101)、上端蓋氣體通道(103)分別與上端蓋腔室(102)連通，所述下端蓋進氣通道(605)與下端蓋第二腔室(602)連通，所述下端蓋出氣通道(601)與下端蓋第一腔室(604)連通，所述下端蓋出氣通道(601)貫穿所述下端蓋第一腔室(604)的側壁，所述下端蓋出氣通道(601)外設有中空的密封管殼(8)，所述密封管殼(8)設在所述下端蓋第一腔室(604)的外側壁上，所述密封管殼(8)內部安裝有微壓傳感器芯片(7)，所述微壓傳感器芯片(7)的背腔與所述下端蓋第一腔室(604)相通；

所述開關導向桿(9)的其中一端設有圓錐頭(901)，所述開關導向桿(9)貫穿所述第一波紋膜片(3)、導向孔(402)、第二波紋膜片(5)、圓錐孔(603)，所述開關導向桿(9)分別與第一波紋膜片(3)以及第二波紋膜片(5)連接，且所述開關導向桿(9)帶有所述圓錐頭(901)一端位于所述圓錐孔(603)內；

所述開關導向桿(9)上套設有平衡彈簧(11)，所述平衡彈簧(11)位于所述中間殼體第一腔室(401)內，所述中間殼體第一腔室(401)內置有吸氣劑(12)；

所述密封管殼(8)包括蓋帽(801)、焊盤(802)、基座(803)；所述基座(803)上設有一個凹槽，所述微壓傳感器芯片(7)放置在凹槽中，所述基座(803)上位于凹槽的兩側對稱設有凸臺，所述凹槽的中部開設有圓孔，所述圓孔與下端蓋出氣通道(601)連通；所述蓋帽(801)蓋設在所述基座(803)上，將所述凹槽、凸臺、圓孔罩設在蓋帽(801)內，所述蓋帽(801)與基座(803)之間為真空環(huán)境。

2.根據權利要求1所述的一種抗高過載絕對式諧振微壓傳感器，其特征在于：所述開關導向桿(9)為圓柱長桿，圓柱長桿的一端與圓錐頭(901)為一體式結構。

3.根據權利要求2所述的一種抗高過載絕對式諧振微壓傳感器，其特征在于：所述開關導向桿(9)與第一波紋膜片(3)通過兩個緊固圓環(huán)(2)連接，所述緊固圓環(huán)(2)為中心開有圓孔的金屬圓環(huán)，所述緊固圓環(huán)(2)上的圓孔半徑與開關導向桿(9)圓柱長桿半徑相等，兩個所述緊固圓環(huán)(2)分別位于所述第一波紋膜片(3)的上、下端面上。

4.根據權利要求2所述的一種抗高過載絕對式諧振微壓傳感器，其特征在于：所述平衡彈簧(11)為金屬彈簧，所述平衡彈簧(11)的一端與緊固圓環(huán)(2)連接、另一端與中間殼體第一腔室(401)底面連接。

5.根據權利要求1所述的一種抗高過載絕對式諧振微壓傳感器，其特征在于：所述吸氣劑(12)為環(huán)形吸氣劑，置于所述中間殼體第一腔室(401)底面。