[發(fā)明專(zhuān)利]一種旋轉(zhuǎn)鈦靶及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010029277.2
• 申請(qǐng)日: 2020-01-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111118460B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳健;黃顯峰;雷雨;周志宏;肖世洪;趙明增
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34;B22F1/05;C23C24/04;C23C4/131;C23C4/08
• 代理公司: 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種旋轉(zhuǎn)鈦靶的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)制備平均粒徑D50為45-55μm的鈦粉；

(2)對(duì)靶材基管進(jìn)行表面處理；

(3)冷噴涂：將表面處理后的靶材基管安裝在傳動(dòng)設(shè)備上，使靶材基管繞其中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，噴槍沿靶材基管的水平方向相對(duì)往返移動(dòng)，啟動(dòng)冷卻裝置后，將鈦粉通過(guò)噴槍冷噴涂到靶材基管表面，沉積形成涂層，得到靶材；

所述步驟(2)中，表面處理包括噴砂處理和打底處理；打底處理所用的原料為銅鎳絲，打底處理方式為電弧噴涂；

所述步驟(3)中，靶材基管的轉(zhuǎn)速為150-180r/min；噴槍的移動(dòng)速度為20-30mm/s；噴涂距離為30-40mm；載氣壓力為5-6MPa；主氣壓力為5.5-6MPa；主氣加熱溫度為860～890℃；

所述步驟(1)中，鈦粉的純度≥99.95％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)鈦靶的制備方法，其特征在于，噴砂處理所用的磨料為白剛玉、鋼絲切丸或鑄鋼砂。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)鈦靶的制備方法，其特征在于，噴砂處理所用的磨料為鑄鋼砂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)鈦靶的制備方法，其特征在于，打底處理后靶材基管的表面粗糙度Ra為260-350μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)鈦靶的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中，冷噴涂的主氣及載氣為氮?dú)饣蚨栊詺怏w。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述方法制備得到的旋轉(zhuǎn)鈦靶，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)鈦靶的氧含量≤1000ppm，晶粒尺寸≤40μm。

7.一種根據(jù)權(quán)利要求6所述旋轉(zhuǎn)鈦靶的修復(fù)方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)制備平均粒徑D50為30-80μm的鈦粉；

(2)對(duì)殘靶進(jìn)行表面處理；

(3)冷噴涂：將表面處理后的殘靶安裝在傳動(dòng)設(shè)備上，使殘靶繞其中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，噴槍沿殘靶的水平方向相對(duì)往返移動(dòng)，啟動(dòng)冷卻裝置后，將鈦粉通過(guò)噴槍冷噴涂到殘靶表面，沉積形成涂層，得到修復(fù)后的靶材，

其中，殘靶的轉(zhuǎn)速為120-200r/min；

噴槍的移動(dòng)速度為20-40mm/s；

冷噴涂的工藝參數(shù)為：主氣壓力為4-8Mpa，載氣壓力為4.5-8.5Mpa，主氣加熱溫度為500-1000℃，噴涂距離為10-80mm，主氣及載氣為氮?dú)饣蚨栊詺怏w。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的修復(fù)方法，其特征在于，所述步驟(3)中，殘靶的轉(zhuǎn)速為150-180r/min，噴槍的移動(dòng)速度為20-30mm/s。