[發(fā)明專利]隔離結(jié)構(gòu)的制造方法和噴涂裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010027443.5
• 申請日: 2020-01-10
• 公開（公告）號: CN113113348B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳子見;吳天成
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/762
• 分類號: H01L21/762;H01L21/67
• 代理公司: 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，包括：

提供基板以及位于所述基板上的疊層結(jié)構(gòu)，所述疊層結(jié)構(gòu)內(nèi)具有多個溝槽；

進(jìn)行第一旋轉(zhuǎn)動作，旋涂第一預(yù)濕溶劑于疊層結(jié)構(gòu)頂表面和溝槽內(nèi)壁；

在進(jìn)行第一旋轉(zhuǎn)動作之后，進(jìn)行第二旋轉(zhuǎn)動作，旋涂第二預(yù)濕溶劑于所述疊層結(jié)構(gòu)頂表面和所述溝槽內(nèi)壁；所述第二旋轉(zhuǎn)動作之后的所述溝槽側(cè)壁的表面張力小于所述第一旋轉(zhuǎn)動作后的所述溝槽側(cè)壁的表面張力；

在進(jìn)行第二旋轉(zhuǎn)動作之后，涂覆涂布液于所述疊層結(jié)構(gòu)上；在將所述涂布液涂覆在所述疊層結(jié)構(gòu)之后，靜置所述涂布液；在所述涂布液靜止預(yù)設(shè)時間后，旋轉(zhuǎn)所述基板，使所述涂布液填充滿所述溝槽；

所述第一旋轉(zhuǎn)動作包括第一初始旋轉(zhuǎn)速度、第一旋轉(zhuǎn)加速度、第一時間和第一速度，所述基板以所述第一旋轉(zhuǎn)加速度從所述第一初始旋轉(zhuǎn)速度加速所述第一時間至所述第一速度；

所述第二旋轉(zhuǎn)動作包括第二速度和第二時間，所述第二速度為勻速，且所述第二速度大于所述第一速度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述溝槽的深度與寬度的比值大于20。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述第一初始旋轉(zhuǎn)速度為0，所述第一旋轉(zhuǎn)加速度為2000～20000rpm/s，所述第一時間為0.1～4s，所述第一速度為2000～8000rpm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述第二速度為2000～8000rpm，所述第二時間為1～5s。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，在所述涂覆涂布液于所述疊層結(jié)構(gòu)上之前，還包括：將所述第二速度減速至0，所述減速包括第二旋轉(zhuǎn)加速度和第三時間，所述第二旋轉(zhuǎn)加速度為-2000～-20000rpm/s，所述第三時間為0.1～4s。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述第一預(yù)濕溶劑和所述第二預(yù)濕溶劑材料相同，包括二丁醚。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述涂布液包括聚硅氮烷，所述涂覆涂布液的時間為1～10s。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)時間為0.5～8s。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)所述基板，具體包括：進(jìn)行第三旋轉(zhuǎn)動作，所述第三旋轉(zhuǎn)動作包括第三初始旋轉(zhuǎn)速度、第三旋轉(zhuǎn)加速度、第四時間和第四速度，所述基板以所述第三旋轉(zhuǎn)加速度從所述第三初始旋轉(zhuǎn)速度加速所述第四時間至所述第四速度，所述第三初始旋轉(zhuǎn)速度為0，所述第三旋轉(zhuǎn)加速度為1000～20000rpm/s，所述第四時間為0.1～4s，所述第四速度為500～2000rpm；

在進(jìn)行所述第三旋轉(zhuǎn)動作之后，進(jìn)行第四旋轉(zhuǎn)動作，所述第四旋轉(zhuǎn)動作包括第五速度和第五時間，所述第五速度為勻速，所述第五速度為500～2000rpm，所述第五時間為5～15s。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)所述基板之后，還包括：進(jìn)行第五旋轉(zhuǎn)動作，將所述第五速度加速至第六速度，控制所述基板以所述第六速度勻速旋轉(zhuǎn)；其中，所述第六速度為2000～3500rpm，所述第五旋轉(zhuǎn)動作的處理時間為7～15s；

所述加速包括第五旋轉(zhuǎn)加速度，所述第五旋轉(zhuǎn)加速度為1000～20000rpm/s。

11.一種噴涂裝置，所述噴涂裝置應(yīng)用于如權(quán)利要求1-10任一項所述的隔離結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，包括：

載臺，用于承載晶圓及帶動所述晶圓旋轉(zhuǎn)；

控制系統(tǒng)，用于控制所述載臺旋轉(zhuǎn)；

第一噴頭，用于向所述晶圓噴涂第一預(yù)濕溶劑或第二預(yù)濕溶劑；

第二噴頭，用于向所述晶圓噴涂涂布液。