[發(fā)明專利]微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010026269.2
• 申請(qǐng)日: 2020-01-08
• 公開（公告）號(hào): CN112788510B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝聰敏;操禮齊;李建興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鑫創(chuàng)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

半導(dǎo)體的襯底，在所述襯底中具有第一開口；

介電層，安置在所述襯底上，其中所述介電層具有對(duì)應(yīng)于所述第一開口的第二開口，所述介電層包含：

相對(duì)于所述襯底的凹陷區(qū)域，圍住所述第二開口；

多個(gè)支柱，從所述凹陷區(qū)域處的凹陷表面延伸到所述襯底；以及

外部部分，圍住所述凹陷區(qū)域且安置在所述襯底上，其中在所述支柱之間以及所述支柱與所述外部部分之間的所述凹陷區(qū)域處產(chǎn)生信號(hào)感測(cè)空間；

第一電極層，支撐在所述介電層的所述凹陷表面上；

第二電極層，支撐在所述襯底上；以及

感測(cè)振膜，由所述介電層固持，包括：

第一彈性振膜，在第一側(cè)區(qū)域處由所述介電層支撐；

第二彈性振膜，在第二側(cè)區(qū)域處由所述襯底支撐；

固持結(jié)構(gòu)，在所述第一彈性振膜與所述第二彈性振膜之間；以及

導(dǎo)電板，在所述第一彈性振膜與所述第二彈性振膜之間，其中所述導(dǎo)電板包括：

中心部分，嵌入于所述固持結(jié)構(gòu)中；以及

外圍部分，延伸到所述信號(hào)感測(cè)空間中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，還包括在所述介電層的所述凹陷表面上的用以支撐所述第一電極層的第一支撐層和在所述襯底上的用以支撐所述第二電極層的第二支撐層，其中所述第一支撐層和所述第二支撐層固持所述感測(cè)振膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中所述導(dǎo)電板的所述外圍部分在所述第一電極層與所述第二電極層之間以形成串聯(lián)連接的兩個(gè)電容器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中在所述第一彈性振膜與所述第二彈性振膜之間的所述固持結(jié)構(gòu)包括：

介電部分，在所述第一彈性振膜與所述導(dǎo)電板之間且在所述第二彈性振膜與所述導(dǎo)電板之間；

多個(gè)支撐壁，在所述介電部分中、在所述第一彈性振膜與所述導(dǎo)電板之間以及在所述第二彈性振膜與所述導(dǎo)電板之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中在所述第一彈性振膜與所述第二彈性振膜之間的所述固持結(jié)構(gòu)包括：

多個(gè)支撐壁，用以支撐在所述第一彈性振膜與所述導(dǎo)電板之間并且支撐在所述第二彈性振膜與所述導(dǎo)電板之間，

其中所述第一彈性振膜和所述第二彈性振膜包括多個(gè)孔，暴露所述支撐壁的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中所述支柱分布成圍住所述介電層的所述第二開口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中還包括在所述信號(hào)感測(cè)空間內(nèi)的所述第一電極層、所述第二電極層以及所述導(dǎo)電板中的至少一個(gè)上突出的抗靜摩擦。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中所述感測(cè)振膜包括與所述襯底中的所述第一開口連接的通孔。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中由所述介電層固持的所述第一彈性振膜和所述第二彈性振膜的外圍部分是彈性部分，以在作為硬質(zhì)部分的所述中心部分接收空氣聲壓時(shí)具有彎曲移位。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)，其中所述信號(hào)感測(cè)空間在小于環(huán)境壓力的壓力下是密閉的。