[發(fā)明專利]一種粒度、濃度、流量可調(diào)的非均質(zhì)凝結氣源系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010023541.1
• 申請日: 2020-01-09
• 公開（公告）號: CN111203158A
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設計）人: 丁紅兵;趙亞菲;梁真馨;田雨禾
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: B01J13/00
• 分類號: B01J13/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 程毓英

1.一種粒度、濃度、流量可調(diào)的非均質(zhì)凝結氣源系統(tǒng)，包括氣體管路、氣溶膠管路、比例控制器、濃度檢測儀、用以輸出凝結氣源的混合管路和控制部分。其中，

在氣體管路上依次設置有氣體加熱器、溫度計、加濕器和溫濕度計，用于對第一輸入氣體進行溫度和濕度的調(diào)整，調(diào)整后的第一輸入氣體通過氣體調(diào)節(jié)閥門(V4)進入混合管路；

氣溶膠管路包括混合容器和恒溫器，單分散氣溶膠經(jīng)過流量調(diào)節(jié)閥門(V3)進入混合容器，后與第二輸入氣體在混合容器內(nèi)混合，隨后經(jīng)過恒溫器調(diào)整溫度，再經(jīng)過氣溶膠調(diào)節(jié)閥門(V5)進入混合管路；通過設定氣體加熱器和恒溫器合適的加熱溫度值，確保氣體管路和氣溶膠管路混合時溫度達到一致；流量閥門(V3)用于控制單分散氣溶膠進入混合容器的流量，在混合管路上設置有濃度測量儀，用以檢測從混合管路輸出的凝結氣源的氣溶膠粒子濃度，比例控制器用于根據(jù)設定值進行兩路混合時的調(diào)整，控制混合管路里的單分散氣溶膠的比例，控制部分根據(jù)濃度測量儀的測量信號對比例控制器進行調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權利要求1所述的氣源系統(tǒng)，其特征在于，還包括空氣壓縮機和除濕除塵裝置，空氣源由空氣壓縮機提供，經(jīng)過除濕除塵后分為兩路，分別進入氣體管路和氣溶膠管路。

3.根據(jù)權利要求1所述的氣源系統(tǒng)，其特征在于，多分散氣溶膠經(jīng)過噴霧器后依次進入蒸發(fā)器和冷凝管，形成所述的單分散氣溶膠，在蒸發(fā)器內(nèi)設置有溫度計，通過控制加熱蒸發(fā)時的飽和溫度，調(diào)整單分散氣溶膠粒徑的大小。

4.根據(jù)權利要求1所述的氣源系統(tǒng)，其特征在于，控制部分包括PLC控制器，在氣體管路和氣溶膠管路上分別設置有壓力計和閥門，PLC控制器根據(jù)壓力計對相應管路上的閥門進行調(diào)節(jié)。