[發明專利]校準裝置及自動測試設備

在審

• 申請號: 202010022864.9
• 申請日: 2020-01-09
• 公開（公告）號: CN111123076A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 董亞明;劉坤選;林亞東
• 申請（專利權）人: 蘇州華興源創科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R35/00
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 李遠思

本發明公開一種校準裝置及自動測試設備。該校準裝置的一實施方式包括：與自動測試設備的多個測量板卡一一對應連接的多個校準子板及分別與多個校準子板通過標準化接口連接的校準母板，校準子板的類型與與其對應的測量板卡的類型相匹配，校準母板設置有直流信號標準源和時序信號標準源，標準化接口包括直流校準信號接口和時序校準信號接口；校準子板，用于切換來自對應測量板卡的多路待直流校準信號的傳輸通道以通過直流校準信號接口將多路待直流校準信號單路輸出至校準母板，切換來自對應測量板卡的多路待時序校準信號的傳輸通道以通過時序校準信號接口將多路待時序校準信號單路輸出至校準母板。該實施方式可大幅提升自動測試設備的校準效率。

技術領域

本發明涉及測試技術領域。更具體地，涉及一種校準裝置及自動測試設備。

背景技術

在測試領域中，對于芯片等器件的測試，通常采用自動測試設備(ATE，AutomaticTest Equipment)實現。以對于芯片的測試為例，通常，自動測試設備插接有多個測量板卡，利用其多個測量板卡向芯片發送測試信號。為保證測量板卡發送的測試信號的精確性，需要首先對自動測試設備的測量板卡進行校準，也可直接稱為對自動測試設備進行校準。

自動測試設備通常支持多種不同類型的測量板卡的混合使用，以滿足客戶的不同需求配置。目前，對于自動測試設備的測量板卡的校準方式為需要為每一類型的測量板卡制作一塊校準板卡，將校準板卡與對應類型的測量板卡連接，校準板卡中的直流信號標準源測量來自每個測量板卡的多路待直流校準信號(測量板卡輸出的多路直流信號)，校準板卡中的時序信號標準源測量來自每個測量板卡的多路待時序校準信號(測量板卡輸出的多路數字信號)，利用部署于自動測試設備的上位機軟件計算各路待直流校準信號及各路待時序校準信號的誤差參數并燒寫入測量板卡的FLASH閃存中，用于測量板卡根據誤差參數進行輸出信號(包括多路直流信號和多路時序信號)的校準或者說補償，其中，誤差參數包括線性度誤差和偏移誤差等。

由于不同類型的測量板卡的輸出接口不同，現有的自動測試設備的測量板卡的校準方式需要為每一類型的測量板卡制作一種相匹配的校準板卡，且進行校準時自動測試設備上的多個測量板卡的類型需一致，更換測量板卡時也需要統一更換且需要更換相應類型的校準板卡，因此，有的自動測試設備的測量板卡的校準方式存在校準效率低、成本高、操作復雜等問題，增加了自動測試設備的研發周期和成本，也增加了客戶更改配置的周期和難度，難以適應市場的需求。

因此，需要提供一種新的校準裝置及自動測試設備。

發明內容

本發明的目的在于提供一種校準裝置及自動測試設備，以解決現有技術存在的問題中的至少一個。

為達到上述目的，本發明采用下述技術方案：

本發明第一方面提供了一種用于自動測試設備的校準裝置，所述自動測試設備包括多個測量板卡，該校準裝置包括與多個測量板卡一一對應連接的多個校準子板及分別與所述多個校準子板通過標準化接口連接的校準母板，所述校準子板的類型與與其對應的測量板卡的類型相匹配，所述校準母板設置有直流信號標準源和時序信號標準源，所述標準化接口包括直流校準信號接口和時序校準信號接口；

所述校準子板，用于切換來自對應測量板卡的多路待直流校準信號的傳輸通道以通過所述直流校準信號接口將所述多路待直流校準信號單路輸出至校準母板，切換來自對應測量板卡的多路待時序校準信號的傳輸通道以通過所述時序校準信號接口將所述多路待時序校準信號單路輸出至校準母板。

可選地，所述校準子板包括第一繼電器網絡和第二繼電器網絡，所述第一繼電器網絡包括一一對應地設置于多路待直流校準信號的傳輸通道中的多個第一繼電器，所述第二繼電器網絡包括一一對應地設置于多路待時序校準信號的傳輸通道中的多個第二繼電器，所述第一繼電器網絡用于實現對單路輸出的待直流校準信號的切換，所述第二繼電器用于實現對單路輸出的待時序校準信號的切換。

可選地，所述第一繼電器為低頻繼電器，所述第二繼電器為高頻繼電器。