[發(fā)明專利]一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010022671.3
• 申請(qǐng)日: 2020-01-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111136576A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊老又
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 楊老又
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/00;B24B47/22
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)(1)、拋光盤(2)、轉(zhuǎn)桿(3)、承載器(4)、底支座(5)、支撐柱(6)、承載器調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(7)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)(1)固定安裝于承載器調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(7)上方通過(guò)機(jī)械連接，所述拋光盤(2)下端與轉(zhuǎn)桿(3)上端相焊接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)(1)下端與承載器(4)上端固定連接，所述底支座(5)上端與支撐柱(6)下端相焊接，所述承載器調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(7)套合在支撐柱(6)上且活動(dòng)連接，所述承載器(4)位于拋光盤(2)正上方，其特征在于：

所述承載器調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(7)包括滑軌結(jié)構(gòu)(71)、滑行器(72)、連接支架板(73)、支板旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)(74)，所述滑行器(72)安裝于滑軌結(jié)構(gòu)(71)上且活動(dòng)連接，所述滑軌結(jié)構(gòu)(71)焊接于連接支架板(73)上方，所述支板旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)(74)固定安裝于連接支架板(73)右端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述滑軌結(jié)構(gòu)(71)包括限位支塊(711)、嵌入槽孔(712)、滑板(713)，所述限位支塊(711)下端焊接于滑板(713)左上端相焊接，所述嵌入槽孔(712)與滑板(713)為一體化結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述滑行器(72)包括滑條(T1)、滑槽架(T2)、電機(jī)連接支架塊結(jié)構(gòu)(T3)，所述滑條(T1)與滑槽架(T2)為一體化結(jié)構(gòu)，所述滑槽架(T2)共設(shè)有兩個(gè)，且上方焊接有電機(jī)連接支架塊結(jié)構(gòu)(T3)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述電機(jī)連接支架塊結(jié)構(gòu)(T3)包括防護(hù)殼(TT1)、拉柄(TT2)、保護(hù)殼(TT3)、緩沖彈簧(TT4)、支撐滑槽架(TT5)、嵌入桿(TT6)，所述防護(hù)殼(TT1)內(nèi)側(cè)設(shè)有保護(hù)殼(TT3)且固定連接，所述支撐滑槽架(TT5)放置于保護(hù)殼(TT3)內(nèi)部，且支撐滑槽架(TT5)側(cè)端面貼合于保護(hù)殼(TT3)內(nèi)壁，同時(shí)支撐滑槽架(TT5)中心與嵌入桿(TT6)相焊接，所述緩沖彈簧(TT4)安裝于支撐滑槽架(TT5)內(nèi)部，所述緩沖彈簧(TT4)環(huán)繞于嵌入桿(TT6)外側(cè)，所述拉柄(TT2)下端與嵌入桿(TT6)上端相焊接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述滑板(713)兩側(cè)設(shè)有凹槽條，且呈光滑無(wú)顆粒狀態(tài)，同時(shí)凹槽條與滑條(T1)相互裝配。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述支板旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)(74)包括滾動(dòng)小球(741)、通孔(742)、固定旋轉(zhuǎn)底支板(743)、保持架(744)、滾動(dòng)槽(745)、嵌入限位機(jī)構(gòu)(746)，所述滾動(dòng)小球(741)安裝于滾動(dòng)槽(745)內(nèi)，且通過(guò)保持架(744)對(duì)其固定，所述固定旋轉(zhuǎn)底支板(743)與滾動(dòng)槽(745)為一體化結(jié)構(gòu)，所述嵌入限位機(jī)構(gòu)(746)嵌入于通孔(742)上，所述通孔(742)固定旋轉(zhuǎn)底支板(743)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述嵌入限位機(jī)構(gòu)(746)包括導(dǎo)支桿(D1)、支板(D2)，所述導(dǎo)支桿(D1)共設(shè)有六根，且均勻分布在支板(D2)上通過(guò)電焊相連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備，其特征在于：所述支撐柱(6)包括導(dǎo)向孔(61)、上頂板(62)、連接支座(63)、定位軸柱(64)，所述導(dǎo)向孔(61)與上頂板(62)為一體化結(jié)構(gòu)，所述上頂板(62)通過(guò)定位軸柱(64)與連接支座(63)固定連接。