[發(fā)明專利]三維量測裝置與其操作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010022455.9
• 申請日: 2020-01-09
• 公開（公告）號: CN112525078B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 卓嘉弘;張柏毅;顧逸霞;莊凱評;劉志祥;楊富程
• 申請（專利權(quán)）人: 財團法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/24
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種三維量測裝置，其特征在于，包括：

一移動裝置，承載一物體，并將該物體移動至多個位置；

一投影裝置，產(chǎn)生一第一光至該物體；

一面型取像裝置，于每一所述位置上，感測該物體因應(yīng)于該第一光而產(chǎn)生的一第二光，以產(chǎn)生一相位影像；以及

一處理裝置，耦接該面型取像裝置，接收該些相位影像，并將該些相位影像進行一感興趣區(qū)域處理，以產(chǎn)生多個感興趣區(qū)域影像，且將該些感興趣區(qū)域影像透過一多步相位移法處理，以計算該物體的一表面高度分布；

其中，該處理裝置透過該感興趣區(qū)域處理，將該些相位影像中對應(yīng)多個角度的相位角的影像擷取出來，以取得對應(yīng)各個角度的該些相位影像，并將對應(yīng)各個角度的該些相位影像依序排列，以產(chǎn)生對應(yīng)各個角度的該些感興趣區(qū)域影像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維量測裝置，其特征在于，該第一光的角度與該第二光的角度相等，該第一光為一入射光，該第二光為一反射光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維量測裝置，其特征在于，該第一光的角度與該第二光的角度不相等，該第一光為一入射光，該第二光為一散射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維量測裝置，其特征在于，該移動裝置每次移動該物體的一距離關(guān)聯(lián)于該面型取像裝置的一像素尺寸與一鏡頭放大倍率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維量測裝置，其特征在于，該些相位影像的數(shù)量與該物體的尺寸相關(guān)聯(lián)。

6.一種三維量測裝置，其特征在于，包括：

一移動裝置，承載一物體，并將物體移動至多個位置；

一投影裝置，依據(jù)一調(diào)光條件，產(chǎn)生一第一光至該物體；

一線型取像裝置，于每一所述位置上，感測該物體因應(yīng)于該第一光而產(chǎn)生的一第二光，以產(chǎn)生一相位影像；以及

一處理裝置，耦接該線型取像裝置，接收該些相位影像，并將該些相位影像進行一感興趣區(qū)域處理，以產(chǎn)生多個感興趣區(qū)域影像，且將該些感興趣區(qū)域影像透過一多步相位移法處理，以計算該物體的一表面高度分布；

其中，該調(diào)光條件依據(jù)該線型取像裝置的一像素尺寸、該線型取像裝置的一像素間距、該線型取像裝置的一鏡頭放大倍率、該投影裝置的一鏡頭放大倍率與該第一光和該第二光之間的夾角進行調(diào)整；

其中，該處理裝置透過該感興趣區(qū)域處理，將該些相位影像中對應(yīng)多個角度的相位角的影像擷取出來，以取得對應(yīng)各個角度的該些相位影像，并將對應(yīng)各個角度的該些相位影像依序排列，以產(chǎn)生對應(yīng)各個角度的該些感興趣區(qū)域影像。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三維量測裝置，其特征在于，該第一光的角度與該第二光的角度相等，該第一光為一入射光，該第二光為一反射光。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三維量測裝置，其特征在于，該第一光的角度與該第二光的角度不相等，該第一光為一入射光，該第二光為一散射光。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三維量測裝置，其特征在于，該移動裝置每次移動該物體的一距離關(guān)聯(lián)于該線型取像裝置的該像素尺寸與該鏡頭放大倍率。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三維量測裝置，其特征在于，該些相位影像的數(shù)量與該物體的尺寸相關(guān)聯(lián)。