[發(fā)明專利]一種清洗超導(dǎo)腔的裝置及清洗方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010021601.6
• 申請日: 2020-01-08
• 公開（公告）號: CN111203410A
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何源;熊平然;郭浩;張生虎;游志明;吳建強
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院近代物理研究所
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12
• 代理公司: 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 劉小娟

1.一種清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述裝置包括立式超聲波發(fā)生槽和超導(dǎo)腔進/排液管路，其中，

所述立式超聲波發(fā)生槽包括槽體和超聲振子，所述槽體為立式可封閉槽，所述槽體內(nèi)部適于容納所述超導(dǎo)腔，所述槽體的外表面布有所述超聲振子，所述槽體設(shè)有超導(dǎo)腔管路接口；

所述超導(dǎo)腔進/排液管路包括進液管路和排液管路，所述進液管路和排液管路分別通過所述超導(dǎo)腔管路接口與所述超導(dǎo)腔連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述進液管路設(shè)有第一連接法蘭、進液閥和放空閥，所述第一連接法蘭在所述超導(dǎo)腔管路接口處以與所述超導(dǎo)腔連接，所述放空閥設(shè)于所述第一連接法蘭和所述進液閥之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述進液管路還設(shè)有液位監(jiān)視元件，該液位監(jiān)視元件設(shè)于所述放空閥附近。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述排液管路設(shè)有第二連接法蘭和流量控制閥，所述第二連接法蘭在所述超導(dǎo)腔管路接口處以與所述超導(dǎo)腔連接，所述流量控制閥設(shè)于所述第二連接法蘭下游。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述槽體還設(shè)有超聲傳遞液體入口、超聲傳遞液體出口和溢流口，所述超聲傳遞液體入口和溢流口設(shè)于所述槽體的上方，所述超聲傳遞液體出口設(shè)于所述槽體的下方。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述裝置還包括槽體進/排液管路，該槽體進/排液管路包括槽體進液管路和槽體排液管路，所述槽體進液管路與所述超聲傳遞液體入口連接，所述槽體排液管路與所述超聲傳遞液體出口連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的清洗超導(dǎo)腔的裝置，其特征在于，所述槽體是橫截面為方形的柱體，該槽體的側(cè)面均布有所述超聲振子。

8.一種根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述清洗超導(dǎo)腔的裝置進行清洗的方法，其特征在于，所述方法包括：

通過向所述超聲波發(fā)生槽施加超聲波，使得所述超聲波發(fā)生槽內(nèi)的液體向所述超聲波發(fā)生槽內(nèi)的超導(dǎo)腔傳遞超聲波；

通過向所述超導(dǎo)腔內(nèi)從上至下注入清洗液體，使所述清洗液體在超聲波作用下清洗所述超導(dǎo)腔的內(nèi)表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在超聲清洗前，通過管路向所述槽體內(nèi)注入超聲傳遞液體，當(dāng)所述槽體的溢流口有水溢出則停止注入所述超聲傳遞液體。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述方法還包括以下一個或多個：

向所述超導(dǎo)腔注入清洗液體時，關(guān)閉所述超導(dǎo)腔排液管路的流量控制閥，打開所述超導(dǎo)腔進液管路的放空閥，向所述超導(dǎo)腔內(nèi)注入清洗液體，當(dāng)液位監(jiān)視元件中沒有氣泡冒出則關(guān)閉所述超導(dǎo)腔連接的放空閥，調(diào)節(jié)所述流量控制閥使得進出液體流量平衡；

當(dāng)清洗完畢，關(guān)閉超聲波，關(guān)閉所述超導(dǎo)腔的進水閥，打開所述超導(dǎo)腔連接的放空閥，對所述超導(dǎo)腔內(nèi)的清洗液體進行排空；將所述槽體內(nèi)的超聲傳遞液體進行排空；

所述超導(dǎo)腔內(nèi)的清洗液體為超純水。