[發(fā)明專利]等離子體處理系統(tǒng)及其開合法拉第組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010021590.1
• 申請(qǐng)日: 2020-01-09
• 公開（公告）號(hào): CN113113280B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉海洋;胡冬冬;劉小波;李娜;程實(shí)然;郭頌;吳志浩;許開東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01L21/02
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 彭英

1.一種開合法拉第組件，包括法拉第層，其特征在于，所述的法拉第層包括旋鈕、射頻接入塊、驅(qū)動(dòng)射頻接入塊移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)、若干均布在O軸外側(cè)并呈分體設(shè)置的環(huán)扇片；其中：所述的旋鈕，整體呈圓環(huán)狀，可旋轉(zhuǎn)地同心設(shè)置在O軸外側(cè)，并沿著旋鈕的環(huán)面等距設(shè)置有數(shù)量與環(huán)扇片數(shù)量匹配的導(dǎo)向滑槽；

每一塊環(huán)扇片均包括內(nèi)圓弧面、外圓弧面以及將內(nèi)圓弧面、外圓弧面的同側(cè)分別連接的第一側(cè)型面、第二側(cè)型面；同時(shí)，每一塊環(huán)扇片均在靠近外圓弧面的扇面上分別設(shè)置有兩根定位件；所述的兩根定位件分別為第一、第二定位件；

各環(huán)扇片均在旋鈕的帶動(dòng)下能夠同步圍繞各自扇面上所設(shè)置的第一定位件旋轉(zhuǎn)，并通過第二定位件與旋鈕上的導(dǎo)向滑槽的導(dǎo)向連接而限制旋轉(zhuǎn)幅度在第一極限位置、第二極限位置之間；

當(dāng)各環(huán)扇片處于第一極限位置時(shí)，法拉第層處于閉合狀態(tài)，此時(shí)各環(huán)扇片的內(nèi)圓弧面處于O軸外側(cè)的同心圓a的圓周上并等距布置，而各環(huán)扇片的外圓弧面則處于O軸外側(cè)的同心圓b的圓周上并等距布置，且同心圓a的內(nèi)徑小于同心圓b的內(nèi)徑；

當(dāng)各環(huán)扇片處于第二極限位置時(shí)，法拉第層處于打開狀態(tài)，此時(shí)各環(huán)扇片的第一側(cè)型面能夠與最大打開內(nèi)切圓相切，旋鈕內(nèi)側(cè)與最大打開內(nèi)切圓對(duì)應(yīng)的區(qū)域完全暴露；

射頻接入塊與升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端連接；

在升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)力驅(qū)動(dòng)下，射頻接入塊能夠朝向法拉第層移動(dòng)，以與處于閉合狀態(tài)的法拉第層的各環(huán)扇片的內(nèi)圓弧面導(dǎo)電連接，或者背離法拉第層移動(dòng)，以與處于打開狀態(tài)的法拉第層分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開合法拉第組件，其特征在于，所述的導(dǎo)向滑槽為條形槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的開合法拉第組件，其特征在于，所述條形槽傾斜設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開合法拉第組件，其特征在于，所述第一、第二側(cè)型面均為平直型面；或者所述第一側(cè)型面為外凸弧形型面、而第二側(cè)型面則為內(nèi)凹弧形型面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開合法拉第組件，其特征在于，所述的升降機(jī)構(gòu)包括氣缸、氣缸轉(zhuǎn)接板以及氣缸轉(zhuǎn)接絕緣桿；氣缸的動(dòng)力輸出端依次通過氣缸轉(zhuǎn)接板、氣缸轉(zhuǎn)接絕緣桿與射頻接入塊固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開合法拉第組件，其特征在于，所述的第一、第二定位件均為銷釘。

7.一種具有開合法拉第組件的等離子體處理系統(tǒng)，包括耦合窗，其特征在于，耦合窗外側(cè)設(shè)置有如權(quán)利要求1所述的開合法拉第組件；

各環(huán)扇片均通過各自扇面上所設(shè)置的第一定位件與耦合窗定位連接；

耦合窗在與旋鈕的外緣對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置旋轉(zhuǎn)定位面；旋鈕能夠通過旋轉(zhuǎn)定位面的定位而圍繞O軸旋轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有開合法拉第組件的等離子體處理系統(tǒng)，其特征在于，開合法拉第組件外側(cè)設(shè)置有線圈結(jié)構(gòu)，包括中部線圈；中部線圈正投影在旋鈕的內(nèi)側(cè)區(qū)域，且中部線圈的外徑不大于最大打開內(nèi)切圓的直徑；

當(dāng)各環(huán)扇片處于第一極限位置時(shí)，處于閉合狀態(tài)的各環(huán)扇片的內(nèi)圓弧面通過射頻接入塊與法拉第射頻電源連接；

當(dāng)各環(huán)扇片處于第二極限位置時(shí)，中部線圈完全暴露在耦合窗表面；中部線圈、邊緣線圈均與線圈射頻電源連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有開合法拉第組件的等離子體處理系統(tǒng)，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)還包括相對(duì)于中部線圈獨(dú)立設(shè)置的邊緣線圈；邊緣線圈能夠正投影在旋鈕的內(nèi)側(cè)區(qū)域；

當(dāng)各環(huán)扇片處于第二極限位置時(shí)，中部線圈、邊緣線圈均完全暴露在耦合窗表面；中部線圈、邊緣線圈均與線圈射頻電源連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有開合法拉第組件的等離子體處理系統(tǒng)，其特征在于，所述的第一定位件為第一銷釘；耦合窗在與各環(huán)扇片上的第一銷釘對(duì)應(yīng)的位置處均設(shè)置有銷孔；各環(huán)扇片通過各自扇面上所設(shè)置的第一銷釘與耦合窗上的各銷孔一一對(duì)應(yīng)配合連接；

所述耦合窗沿中部位置處設(shè)置中部固定孔；中部固定孔配裝有陶瓷進(jìn)氣嘴，該陶瓷進(jìn)氣嘴的出氣部位配裝噴嘴。